申请/专利权人：苏州六九新材料科技有限公司

申请日：2022-06-22

公开（公告）日：2024-03-22

公开（公告）号：CN115058694B

主分类号：C23C14/34

分类号：C23C14/34;C22C14/00;C22C16/00;C22C21/00;C22C30/00;B22F3/15;B22F3/24

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.03.22#授权;2022.10.04#实质审查的生效;2022.09.16#公开

摘要：本申请涉及粉末冶金技术领域，公开了一种TiAlZr靶材及其制备方法。该方法通过选择一定比例的TiZr合金粉、Al粉或者TiZr合金粉、Ti粉及Al粉作为预合金粉末，然后将粉末装入包套中经过脱气、HIP来制备TiAlZr合金靶材。本申请的制备方法可获得相对密度＞99％，晶粒尺寸均的靶材，且可有效解决含Zr粉末冶金靶材在制备过程中Zr易燃易爆的危险性问题。

主权项：1.一种TiAlZr靶材的制备方法，其特征在于，采用粉末冶金工艺制备，其中所述TiAlZr靶材中的Zr元素以TiZr合金粉末作为原料加入，Al元素以Al粉作为原料加入，Ti元素以Ti粉作为原料加入；按照原子百分比，所述TiAlZr靶材的成分包括：Ti1at%-50at%，Al20at%-90at%，Zr1at%-50at%；所述TiAlZr靶材的制备方法包括以下步骤：制备TiZr合金粉：采用雾化制粉方法将TiZr合金原料制备成TiZr合金粉；在制备TiZr合金粉中，TiZr合金原料是TiZr合金铸锭，所述铸锭是将Ti和Zr金属原料熔炼后得到的；混粉：将所述TiZr合金粉、Al粉按照所述TiAlZr靶材的成分比例称量后混合均匀，或者将所述TiZr合金粉、Al粉以及Ti粉按照所述TiAlZr靶材的成分比例称量后混合均匀，得到混合粉末；所述Ti粉的粒度为80-325目；所述TiZr合金粉的粒度为200目~500目；所述Al粉的粒度为200目~500目；脱气：将所述混合粉末装入包套，进行脱气；所述脱气为加热真空脱气，所述脱气的温度400℃~500℃，脱气真空度为1×10-3Pa~2×10-2Pa；热等静压：将脱气后的所述包套进行热等静压，热等静压后去除包套获得热等静压坯料；所述热等静压的温度为400℃~500℃，压力为100~150MPa，保温保压时间为2~6h。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 苏州六九新材料科技有限公司 一种TiAlZr靶材及其制备方法

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