申请/专利权人：扬州大学

申请日：2022-03-25

公开（公告）日：2024-03-22

公开（公告）号：CN114595521B

主分类号：G06F30/15

分类号：G06F30/15;G06F30/23

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.03.22#授权;2022.06.24#实质审查的生效;2022.06.07#公开

摘要：本发明公开了一种微系统三维互连结构传输高频信号的总剂量效应建模方法，通过建立互连结构等效电路模型，优化电路参数使得互连结构与等效电路具有相同的散射参数，通过研究总剂量效应对该结构中敏感区域的影响，将总剂量效应对互连结构的影响转为等效电路中具体参数的变化，构建总剂量效应中的剂量与等效电路中电路参数的函数关系，由此构建出总剂量效应模型，实现了总剂量效应对互连结构性能传输影响的快速建模，输出结果和联合仿真。

主权项：1.微系统三维互连结构传输高频信号的总剂量效应建模方法，其特征在于，包括如下步骤：步骤1：根据微系统三维互联结构的实际结构，将样品中每一部分按照位置分类，每一类均通过参数提取公式并结合有限元参数提取软件得到互连结构对应电阻、电感和电容值，并且根据结构搭建等效电路；步骤2：根据微系统三维互联结构选择探针头后，使用矢量网络分析仪精准测量微系统三维互联结构的辐照前散射参数；步骤3：对等效电路进行仿真，对比等效电路仿真的散射参数与矢量网络分析仪测得的散射参数，不断调整等效电路参数，使得等效电路的仿真结果与矢量网络分析仪测得的散射参数差值小于预设阈值A；步骤4：将微系统三维互联结构置于辐照环境，待辐照完成后，再通过矢量网络分析仪测量得到辐照后微系统三维互联结构的散射参数；步骤5：针对微系统三维互联结构中对辐照效应敏感的部分，改变该部分对应等效电路中的参数值，使得新的等效电路的仿真结果与微系统三维互联结构辐照后测得的散射参数差值小于预设阈值B；步骤6：调整辐照环境的辐照强度至不同剂量点，然后重复步骤4和步骤5；步骤7：对比前后等效电路，得到不同辐照剂量点下的电路参数值，构建剂量与电路参数值之间的函数表达式，通过所述函数表达式来预测更高剂量点下的电路参数值，并且仿真得到更高剂量点下的散射参数。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 扬州大学 微系统三维互连结构传输高频信号的总剂量效应建模方法

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