申请/专利权人：武汉光目科技有限公司

申请日：2020-12-21

公开（公告）日：2024-03-22

公开（公告）号：CN112684460B

主分类号：G01S17/08

分类号：G01S17/08;G01S7/481;G01B11/06

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.03.22#授权;2021.05.07#实质审查的生效;2021.04.20#公开

摘要：本发明提供了一种面阵扫频测量装置和方法，属于激光测距技术领域，装置包括可调谐激光器、准直器、扩束器、相位阵列、透镜阵列、第一透镜、分束器、镜头、相机、采集控制单元和反射元件；可调谐激光器用于提供激光光束；相位阵列用于对扩束后的平行光相位调制；透镜阵列用于对每个相位阵列输出的光束聚焦；分束器用于将第一透镜输出的光束分为反射光和透射光；反射元件用于将透射光反射形成参考光；工作时被测物体反射反射光形成信号光；其中，信号光和参考光干涉形成干涉图案；相机用于采集干涉图像；采集控制单元用于根据干涉图像分析被测物体的表面形貌。本发明通过多个独立散斑的叠加，实现了降低散斑对比度的效果。

主权项：1.一种面阵扫频测量装置，其特征在于，包括可调谐激光器（1）、准直器（2）、扩束器（3）、阿达玛相位阵列（4）、透镜阵列（5）、第一透镜（6）、分束器（7）、镜头（10）、相机（11）、采集控制单元（12）和反射元件（9）；在激光光束的透射方向上依次设置所述准直器（2）、所述扩束器（3）、所述阿达玛相位阵列（4）、所述透镜阵列（5）、所述第一透镜（6）、所述分束器（7）和所述反射元件（9）；激光光束经所述分束器（7）反射的相反方向依次设置所述镜头（10）和所述相机（11）；所述可调谐激光器（1）的输出端连接所述相机（11）；所述可调谐激光器（1）用于提供激光光束；所述准直器（2）用于将激光光束准直为平行光；所述扩束器（3）用于对所述准直器（2）输出的平行光进行扩束；所述阿达玛相位阵列（4）用于对扩束后的平行光相位调制；所述透镜阵列（5）用于对每个阿达玛相位阵列输出的光束聚焦；所述第一透镜（6）用于将所述透镜阵列（5）输出的光束汇聚成像至所述分束器（7）；所述分束器（7）用于将所述第一透镜（6）输出的光束分为反射光和透射光；所述反射元件（9）用于将透射光反射形成参考光；工作时被测物体（8）反射反射光形成信号光；其中，信号光和参考光干涉形成干涉图案；所述镜头（10）用于将干涉图像成像至所述相机（11）上；所述采集控制单元（12）用于根据干涉图像分析被测物体的表面形貌。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 武汉光目科技有限公司 一种面阵扫频测量装置和方法

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