申请/专利权人：深圳迈塔兰斯科技有限公司

申请日：2021-11-09

公开（公告）日：2024-03-22

公开（公告）号：CN114019589B

主分类号：G02B1/00

分类号：G02B1/00;G02B5/00

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.03.22#授权;2022.02.25#实质审查的生效;2022.02.08#公开

摘要：本申请提供了一种光学衰减片，属于光学衰减器技术领域。该光学衰减片包括基底和多个超结构单元；其中，所述多个超结构单元设置于基底的表面，所述多个超结构单元以可密堆积图形构成；所述可密堆积图形的中心位置和或顶点位置分别设置有微纳结构；所述微纳结构的数量和结构由入射波长和目标吸收率决定。通过本申请实施例提供光学衰减片的微纳结构调控吸收率，实现了对目标波段的辐射衰减，降低了光学衰减器的元件复杂度和工艺复杂度，使光学衰减器可以通过半导体工艺进行集成。本申请实施例提供的光学衰减片通过级联实现了对任意吸收率的调控。

主权项：1.一种光学衰减片，其特征在于，所述光学衰减片的目标波段包括红外光、可见光以及紫外光中的一种或多种；所述光学衰减片包括：基底100和多个超结构单元200；其中，所述多个超结构单元200设置于所述基底100的表面，所述多个超结构单元200以可密堆积图形构成；所述可密堆积图形的中心位置和或顶点位置分别设置有微纳结构201；所述微纳结构201为亚波长结构；所述微纳结构201的数量和结构由入射波长和目标吸收率决定；所述目标吸收率对应的微纳结构201的数量，是根据所述目标吸收率，对参考吸收率对应的微纳结构201的数量进行随机增减确定的；所述目标吸收率对应的微纳结构201的数量除以所述参考吸收率对应的微纳结构201的数量所得的比值，等于所述目标吸收率除以所述参考吸收率所得的比值；并且，任一所述超结构单元200包含的所述微纳结构201的形状和尺寸均有均一性。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 深圳迈塔兰斯科技有限公司 光学衰减片

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