申请/专利权人：武汉华星光电半导体显示技术有限公司

申请日：2022-07-08

公开（公告）日：2024-03-22

公开（公告）号：CN114987064B

主分类号：B41J3/407

分类号：B41J3/407;B41J2/01

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.03.22#授权;2022.09.20#实质审查的生效;2022.09.02#公开

摘要：本申请公开了一种喷涂设备，具有用于在盖板上喷涂对位标记的喷涂工位，所述喷涂设备包括：输送装置，包括输送载台、掩膜以及驱动组件，所述输送载台具有用来直接或者间接的承载所述盖板的工作面，所述掩膜与所述工作面相对设置、并可拆卸地固定在所述输送载台上，所述驱动组件用来带动所述输送载台沿第一方向进入或者离开所述喷涂工位；以及，喷涂装置，对应所述喷涂工位布设，当所述输送载台进入所述喷涂工位后，所述喷涂装置用来从所述掩膜远离所述工作面的一侧向所述盖板喷射用于形成所述对标记的喷涂材料。本申请的喷涂设备，能解决现有盖板的对位标记制作成本较高的问题。

主权项：1.一种喷涂设备，其特征在于，具有用于在盖板上喷涂对位标记的喷涂工位，所述盖板用于基于所述对位标记与薄膜晶体管基板进行对组贴合，所述喷涂设备包括：输送装置，包括输送载台、掩膜以及驱动组件，所述输送载台具有用来直接或者间接的承载所述盖板的工作面，所述掩膜与所述工作面相对设置、并可拆卸地固定在所述输送载台上，所述驱动组件用来带动所述输送载台沿第一方向进入或者离开所述喷涂工位；以及，喷涂装置，对应所述喷涂工位布设，当所述输送载台进入所述喷涂工位后，所述喷涂装置用来从所述掩膜远离所述工作面的一侧向所述盖板喷射用于形成所述对位标记的喷涂材料；所述喷涂设备还包括基台，所述输送载台以能相对所述基台沿所述第一方向移动的方式设置在所述基台上；所述喷涂装置包括两个安装支架和分别对应两个所述安装支架的两个喷头组，其中：两个所述安装支架以能沿所述第一方向相互靠近或者远离方式设置在所述基台上，每一所述安装支架沿垂直于所述第一方向的第二方向的跨设于所述输送载台的输送路径的宽度方向两侧；以及，每一所述喷头组包括至少两个喷头，每一所述喷头以能相对所述安装支架沿所述第二方向移动的方式安装在所述安装支架上；在所述输送载台的工作面上设有承载区及支撑件，其中：所述承载区位于所述工作面的中心处，用来直接或者间接的承载所述盖板；所述支撑件位于所述承载区的外围、且固定在所述输送载台上，用于支撑所述掩膜；在所述输送载台设置有调整件，所述调整件以环绕所述承载区的周缘的方式设置、并活动地安装在所述输送载台上，通过所述调整件的位置，调整所述承载区的平面尺寸；所述喷涂设备还包括至少一组测试组件，所述测试组件包括：测试基板，沿所述第一方向设置在所述输送载台的一侧；以及，至少一清洁件，用来清洁所述测试基板上的喷涂材料；所述喷涂设备还具有更换盖板的换料工位，所述喷涂设备还包括换料装置，所述换料装置对应所述换料工位布设，所述驱动组件用来带动所述输送载台沿所述第一方向移动并途径所述喷涂工位和所述换料工位；所述换料装置具有换料组件和切换组件，其中：所述切换组件用于使所述掩膜在第一位置和第二位置之间切换，在所述第一位置，所述掩膜与所述工作面相对设置、且固定在所述输送载台，在所述第二位置，所述掩膜避让所述工作面；所述换料组件用于在所述掩膜处于所述第二位置时更换所述工作面上的盖板。

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权利要求：

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