申请/专利权人：天津天物金佰微电子有限公司

申请日：2023-07-17

公开（公告）日：2024-03-22

公开（公告）号：CN220651959U

主分类号：H01L21/67

分类号：H01L21/67;H01L23/544;H01L21/66

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.03.22#授权

摘要：本实用新型属于晶圆技术领域，尤其是一种晶圆外观识别标记装置，包括底座，所述底座的内部设置有控制装置，所述控制装置包括齿杆、第一齿轮、第二齿轮、衔接杆和第三齿轮。该晶圆外观识别标记装置，摄像机对物料进行拍摄，将电信号传输到控制器，控制器接收物料的照片，进行分析，当物料不符合规格时，控制器控制第一气缸启动，第一气缸启动控制印章向下移动对物料进行盖章，做出标记，同时第一气缸启动会带动连接板和齿杆进行向下移动，齿杆移动会带动第一齿轮进行逆时针转动，第二齿轮和第一齿轮同步转动，第二齿轮带动第三齿轮进行顺时针转动，进而带动齿板向左移动，齿板带动滑杆和推板同时进行移动，让推板将物料进行推动。

主权项：1.一种晶圆外观识别标记装置，包括底座（1），其特征在于：所述底座（1）的内部设置有控制装置，所述控制装置包括齿杆（2）、第一齿轮（3）、第二齿轮（4）、衔接杆（5）和第三齿轮（6），所述齿杆（2）带动第一齿轮（3）进行转动，所述第一齿轮（3）带动衔接杆（5）和第二齿轮（4）同步转动，所述第二齿轮（4）带动第三齿轮（6）进行转动。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 天津天物金佰微电子有限公司 一种晶圆外观识别标记装置

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