申请/专利权人：隆基绿能科技股份有限公司

申请日：2023-08-15

公开（公告）日：2024-03-22

公开（公告）号：CN220643336U

主分类号：C30B15/14

分类号：C30B15/14;C30B15/20

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.03.22#授权

摘要：本实用新型公开了一种热屏及单晶炉热场，热屏包括主体段及与主体段相连的改性段，改性段包括底板和与底板相连的圆弧部，沿热屏的高度方向，改性段的高度小于或等于主体段的高度；热屏具有内部腔体，改性段包括靠近内部腔体的基体层和远离内部腔体的耐蚀层，耐蚀层用于抵抗单晶炉热场中产生的硅蒸气的侵蚀。本实用新型实施例中，耐蚀层能够抵抗单晶炉热场中产生的硅蒸气的侵蚀，使得热屏中的改性段不易被硅蒸气腐蚀，从而延缓了改性段的腐蚀速率，进而提高了热屏的使用寿命。

主权项：1.一种热屏，其特征在于，包括主体段及与所述主体段相连的改性段，所述改性段包括底板和与所述底板相连的圆弧部，沿所述热屏的高度方向，所述改性段的高度小于或等于所述主体段的高度；所述热屏具有内部腔体，所述改性段包括靠近所述内部腔体的基体层和远离所述内部腔体的耐蚀层，所述耐蚀层用于抵抗单晶炉热场中产生的硅蒸气的侵蚀。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 隆基绿能科技股份有限公司 热屏及单晶炉热场

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