申请/专利权人：中科光智(重庆)科技有限公司

申请日：2023-08-18

公开（公告）日：2024-03-22

公开（公告）号：CN220633665U

主分类号：B01D53/04

分类号：B01D53/04

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.03.22#授权

摘要：本实用新型公开了一种气体纯化系统，包括配电箱，所述配电箱的侧面固定安装有安装柜，所述安装柜的内底壁固定安装有再生纯化柱A和再生纯化柱B，所述再生纯化柱与再生纯化柱B的顶部均固定连通有两组对称设置的气动挡板阀A。气源通过纯化气体入口管进入再生纯化柱A或再生纯化柱B中纯化处理，再通过控制气动挡板阀A控制再生纯化柱A或再生纯化柱B的气体从不锈钢管道进入鼓风机中，然后气源会被冷却水系统处理并从纯化气体出口管排出，采用双柱系统，其中一柱进行纯化，另一柱进行再生备用，双柱交替使用，可以对手套箱等进行连续不间断的纯化，双柱交替使用实现生产工艺的连续性。

主权项：1.一种气体纯化系统，包括配电箱（9），所述配电箱（9）的侧面固定安装有安装柜（14），其特征在于：所述安装柜（14）的内底壁固定安装有再生纯化柱A（4）和再生纯化柱B（16），所述再生纯化柱A（4）与再生纯化柱B（16）的顶部均固定连通有两组对称设置的气动挡板阀A（15），前侧一对的气动挡板阀A（15）与纯化气体入口管（8）连接，后侧一对的气动挡板阀A（15）与不锈钢管道（21）连通，所述不锈钢管道（21）的另一端与鼓风机（20）连通，所述鼓风机（20）的排出端连通有冷却水系统（10），所述冷却水系统（10）的排出端连接有纯化气体出口管（7），所述冷却水系统（10）的表面固定安装有消音系统（11），所述安装柜（14）的侧壁固定安装有气体分流板（12），所述纯化气体入口管（8）的侧面连接有气动挡板阀B（18），所述安装柜（14）的侧面固定安装有转子流量计（6），所述转子流量计（6）通过不锈钢气管（17）与气体分流板（12）连通。

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权利要求：

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