申请/专利权人：江苏中能硅业科技发展有限公司

申请日：2023-08-17

公开（公告）日：2024-03-22

公开（公告）号：CN220643335U

主分类号：C30B15/12

分类号：C30B15/12;C30B29/06

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.03.22#授权

摘要：本实用新型公开了一种单晶炉坩埚，包括内坩埚、外坩埚、埚邦、坩埚底盘、加料管和保护板；内坩埚、外坩埚、埚邦和坩埚底盘依次固定连接，加料管设置于内坩埚和外坩埚之间并向内坩埚和外坩埚之间添加硅料，硅料熔融后生成硅液；保护板包括一体成型的的第一板和第二板，第一板环设在外坩埚的上方并与外坩埚保持平齐，第二板设置于内坩埚和外坩埚之间并沿外坩埚的内壁延伸至硅液的上方，保护板与硅料不发生反应。本实用新型通过在外坩埚上加装一层高温下不与硅反应的保护板覆盖住外坩埚内壁，保护硅液上方裸露出的外坩埚壁不与硅料接触，减少杂质引入和延长坩埚寿命。

主权项：1.一种单晶炉坩埚，其特征在于，包括内坩埚、外坩埚、埚邦、坩埚底盘、加料管和保护板；内坩埚、外坩埚、埚邦和坩埚底盘依次固定连接，加料管设置于内坩埚和外坩埚之间并向内坩埚和外坩埚之间添加硅料，硅料熔融后生成硅液；保护板包括一体成型的第一板和第二板，第一板环设在外坩埚的上方并与外坩埚保持平齐，第二板设置于内坩埚和外坩埚之间并沿外坩埚的内壁延伸至硅液的上方，保护板与硅料不发生反应。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 江苏中能硅业科技发展有限公司 一种单晶炉坩埚

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