申请/专利权人：华研芯测半导体(苏州)有限公司

申请日：2023-06-19

公开（公告）日：2024-03-22

公开（公告）号：CN220650523U

主分类号：G01N23/2251

分类号：G01N23/2251

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.03.22#授权

摘要：本实用新型公开了一种扫描电子显微镜探测器，所述探测器包括：具有中心孔的闪烁体、所述闪烁体表层镀有导电薄膜，同时，所述闪烁体另一面通过光学胶与一光纤束传导装置连接，所述光纤束传导装置包含多根光纤，所述光纤束中的每一根光纤将与之对应位置闪烁体产生的光信号沿光纤传导到信号收集及处理系统中，所述信号收集与处理系统对信号进行分区处理、光电转换、放大及数学运算。应用所述探测器可以实现探测器表面的分区域信号收集效果，通过不同的信号处理方法更丰富的反应样品信息；实现了在不改动硬件基础上就可实现了探测器的多功能化。

主权项：1.一种扫描电子显微镜探测器，其特征是包括：导电薄膜、闪烁体、光纤束传导装置和信号收集及处理系统；所述导电薄膜、闪烁体、光纤束传导装置和信号收集及处理系统按探测信号的传播路径依次布置，电子显微镜被观测样品上产生的信号电子穿过所述导电薄膜后，在闪烁体上激发产生光信号，在闪烁体上不同位置激发产生的光信号进入不同的光纤束内，然后沿光纤束传导装置传到信号收集及处理系统，最终形成探测信号。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 华研芯测半导体(苏州)有限公司 一种扫描电子显微镜探测器

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