申请/专利权人：宁波芯丰精密科技有限公司

申请日：2023-08-28

公开（公告）日：2024-03-22

公开（公告）号：CN220651994U

主分类号：H01L21/687

分类号：H01L21/687;H01L21/67;F26B25/18;F26B11/18;F26B5/08

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.03.22#授权

摘要：本实用新型属于晶圆夹持技术领域，公开了夹持机构及晶圆甩干装置，夹持机构用于夹持晶圆，晶圆放置于晶圆甩干装置的晶圆载台，并在晶圆载台的带动下旋转，以完成甩干；夹持机构包括活动夹持件，活动夹持件通过旋转轴转动设置于晶圆载台，活动夹持件具有夹持部，夹持部能够抵接于晶圆，活动夹持件设置有多个，多个活动夹持件的夹持部能够同时与晶圆抵接，并用于夹持放置于晶圆载台的晶圆，以避免晶圆甩干的过程中晶圆掉落；沿竖直方向，活动夹持件的重心与夹持部分别位于旋转轴的上下两侧，从而当晶圆载台转动时，多个活动夹持件的夹持部能够夹紧晶圆，以完成晶圆的夹持，且随着晶圆载台的转速增加，夹持部对晶圆的夹持力增大。

主权项：1.夹持机构，用于夹持晶圆100，所述晶圆100放置于晶圆甩干装置的晶圆载台1，且所述晶圆100平行于水平面放置，所述晶圆载台1能够沿自身中心线旋转，以带动所述晶圆100转动，并甩出所述晶圆100上的液态水；其特征在于，所述夹持机构包括：活动夹持件2，通过旋转轴3转动设置于所述晶圆载台1，所述活动夹持件2具有夹持部21，所述夹持部21能够抵接于所述晶圆100，沿竖直方向，所述活动夹持件2的重心与所述夹持部21分别位于所述旋转轴3的上下两侧，以使所述活动夹持件2能够随着所述晶圆载台1的旋转而绕所述旋转轴3转动，所述活动夹持件2设置有多个，多个所述活动夹持件2的所述夹持部21能够同时与所述晶圆100抵接，并用于夹持放置于所述晶圆载台1的晶圆。

全文数据：

权利要求：

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