申请/专利权人：国成仪器(常州)有限公司

申请日：2023-05-17

公开（公告）日：2024-03-22

公开（公告）号：CN220650707U

主分类号：G01Q10/00

分类号：G01Q10/00;G01Q20/02;G01Q60/38

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.03.22#授权

摘要：本实用新型涉及显微镜设备领域，特别涉及一种用于真空环境下的原子力显微镜的光纤对准装置。本装置由悬臂梁、固定座、探针、三维调节装置、z滑动杆、z滑动槽、固定装置、光纤装置等组成，三维调节装置包括压电陶瓷、xy调节座，z滑动杆在z滑动槽内移动，并通过固定装置固定位置。本实用新型通过调节z滑动杆、xy调节座、压电陶瓷调整微悬臂探针x、y、z方向的位置，实现微悬臂探针与光纤的精准对准，解决了微悬臂前端光纤较短、移动空间较小、调节过程容易碎裂的问题，有助于真空原子力显微镜光干涉法测量微悬臂的偏转量。该装置定位精度高且操作简单，有利于样品表面微观形貌的测量与表征。

主权项：1.一种用于真空原子力显微镜的光纤对准装置，包括悬臂梁1、固定座2、三维调节装置、z滑动杆5、z滑动槽6、固定装置7、探针8、光纤装置9，探针8固定在悬臂梁1一端，其特征在于：所述悬臂梁1固定在固定座2上方；所述三维调节装置固定在固定座2下方，所述三维调节装置包括压电陶瓷3、xy调节座4，所述压电陶瓷3与xy调节座4相连接，所述xy调节座4在压电陶瓷3上方或下方，用于调节探针8针尖相对光纤装置9的位置；所述z滑动杆5在z滑动槽6内与三维调节装置相连接；所述z滑动槽6上有一固定装置7，用于调节z滑动杆5后固定z滑动杆5；所述光纤装置9与z滑动槽6固定连接。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 国成仪器(常州)有限公司 一种用于真空原子力显微镜的光纤对准装置

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