申请/专利权人：武汉颐光科技有限公司

申请日：2023-11-22

公开（公告）日：2024-03-26

公开（公告）号：CN117760979A

主分类号：G01N21/21

分类号：G01N21/21;G01N21/01;G01B11/06

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.04.12#实质审查的生效;2024.03.26#公开

摘要：本发明提供一种高精度穆勒矩阵椭偏仪的控制方法和装置，通过控制器控制椭偏仪的两个电机运行到设定转速后，获取两个电机的实时位置和待测样件的光强信号，并计算两个电机原点之间的夹角θ1同步值，对系统进行校准；当椭偏仪的系统参数调整后，再次计算两个电机原点之间的夹角θ2同步值，根据两次的夹角值，可计算第二补偿器安装方位角的差值，进而根据校准的第二补偿器的安装方位角，得到系统参数调整后的第二补偿器的安装方位角，对系统参数进行修正补偿。在实际生产环节中，为了将不同椭偏仪进行匹配调试，需要反复进行系统参数修正补偿，通过本控制方法，可以减少反复对椭偏仪进行校准动作，明显增强了设备的适应性。

主权项：1.一种高精度穆勒矩阵椭偏仪的控制方法，其特征在于，所述穆勒矩阵椭偏仪包括起偏器、检偏器、位于所述起偏器的第一补偿器、位于所述检偏器的第二补偿器，第一电机和第二电机分别用于控制所述起偏器和所述检偏器的旋转，所述控制方法包括：步骤1，待所述穆勒矩阵椭偏仪通电后，控制器控制所述第一电机和所述第二电机同步运行到第一预设转速值和第二预设转速值，并分别获取所述第一电机的实时位置和第二电机的实时位置，将第一电机编码器的Z相脉冲作为光谱仪采集光强信号的触发信号；步骤2，控制器根据第一电机的实时位置和第二电机的实时位置，计算出第一电机编码器和第二电机编码器的原点之间的夹角θ1同步值；步骤3，待获得了光谱仪采集的光强信号后，采集第一电机的转速周期，工控机根据所述光强信号、第一电机的转速周期和第一电机和第二电机的原点之间的夹角θ1同步值，对穆勒矩阵椭偏仪进行系统校准，获取穆勒矩阵椭偏仪的系统P、A、CS1、CS2、δ1、δ2，其中，P为起偏器的安装方位角，A为检偏器的安装方位角，δ1为起偏臂波片相位延迟量，δ2为检偏器波片相位延迟量，CS1为第一补偿器的安装方位角，CS2为第二补偿器的安装方位角；步骤4，穆勒矩阵椭偏仪重启或者系统参数调整后，再次采集第一电机编码器和第二电机编码器的原点之间的夹角θ同步2值，并根据θ1同步值和夹角θ同步2值计算系统参数调整后，第二补偿器与校准时的安装方位角差值Δθ；步骤5，根据校准的第二补偿器的安装方位角和安装方位角差值Δθ，计算系统参数调整后的第二补偿器安装方位角CS22。

全文数据：

权利要求：

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