申请/专利权人：睿励科学仪器(上海)有限公司

申请日：2023-09-11

公开（公告）日：2024-03-22

公开（公告）号：CN220649786U

主分类号：G01J3/447

分类号：G01J3/447;G01J3/02;G01B11/06;G01J4/00

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.03.22#授权

摘要：本实用新型公开了一种光谱椭偏装置和测量系统。光谱椭偏装置包括：光源；第一光谱仪模块包括偏转放置的第一镜片，第一镜片为凹面镜，其上设有分色薄膜，用于接收入射光，向第一方向反射入射光中的第一波长光束，并沿第二方向透射入射光中的第二波长光束，第一波长光束被转换为第一电信号输出；光阑模组设于光源和第一光谱仪模块之间，用于限制入射光直径；以及第二光谱仪模块包括第二镜片，第二镜片为反射镜，用于接收透射出的第二波长光束并将其反射，第二镜片和第一镜片均位于光阑模组同侧，且第一镜片位于光阑模组第一侧，第二镜片位于第一镜片第一侧，以使第一波长光束和第二波长光束共用同一段焦距，第二波长光束转被换为第二电信号输出。

主权项：1.一种光谱椭偏装置，其特征在于，包括：光源，用于提供入射光；第一光谱仪模块，包括偏转放置的第一镜片，所述第一镜片为凹面镜，其上设有分色薄膜，所述第一镜片用于接收所述入射光，向第一方向反射所述入射光中的第一波长光束，并沿第二方向透射所述入射光中的第二波长光束，所述第一波长光束被转换为第一电信号输出；光阑模组，设置于所述光源和所述第一光谱仪模块之间，用于限制所述入射光的直径；以及第二光谱仪模块，包括第二镜片，所述第二镜片为反射镜，用于接收透射出的所述第二波长光束并将其反射，其中，所述第二镜片和所述第一镜片均位于所述光阑模组的同侧，并且所述第一镜片位于所述光阑模组的第一侧，所述第二镜片位于所述第一镜片的所述第一侧，以使所述反射的第一波长光束和所述透射的第二波长光束共用同一段焦距，所述第二波长光束转被换为第二电信号输出。

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权利要求：

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