申请/专利权人：系科仪器(上海)有限公司

申请日：2023-08-01

公开（公告）日：2024-02-20

公开（公告）号：CN220507959U

主分类号：G01B11/06

分类号：G01B11/06;G01N21/41;G01N21/17

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.02.20#授权

摘要：本实用新型提供一种新型在线测量的激光椭偏仪，包括支架及安装在支架上端的主机体、设置在主机体上端的控制箱，所述主机体内固定安装有Z轴运动机构，Z轴运动机构的下端水平安装有底板，以控制底板升降移动，所述底板的下端设有用于安装测试片的调试台。本发明提出了一种使用便捷、结构稳定牢固、测试位可见的在线激光椭偏仪结构。取消了转动轴承的设计、简化了设备的生产工艺，提高生产效率，同时也提高了设备的性能。测试位可见，易于判断测试状态，提高了实用性。

主权项：1.一种新型在线测量的激光椭偏仪，包括支架及安装在支架上端的主机体、设置在主机体上端的控制箱，所述主机体内固定安装有Z轴运动机构，其特征在于：Z轴运动机构的下端水平安装有底板，以控制底板升降移动，所述底板的下端设有用于安装测试片的调试台，底板的一侧对应调试台设有光信号发出模块，另一侧设有光信号接收模块，所述光信号发出模块、光信号接收模块和调试台通过底板同步上下移动，以实现Z轴方向的对焦，所述调试台伸出主机体底部，以便于人员安装测试片，并观察测试片的位置。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 系科仪器(上海)有限公司 一种新型在线测量的激光椭偏仪

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