申请/专利权人：上海隐冠半导体技术有限公司

申请日：2023-12-25

公开（公告）日：2024-03-26

公开（公告）号：CN117766456A

主分类号：H01L21/687

分类号：H01L21/687;H01L21/67

优先权：["20230621 CN 2023215919117"]

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.04.12#实质审查的生效;2024.03.26#公开

摘要：本发明公开了一种承载平台和用于承载平台的到位检测方法，承载平台包括设置承载面的主体、升降驱动器、两个检测器。主体内设有活动空间，活动空间内设有活动件，活动件上连接有多个顶杆。升降驱动器用于驱动活动件升降使顶杆可伸出承载面或缩回承载面下。主体内设有第一气道和第二气道，两个气道的第一端与外部抽气设备或送气设备连通，两个气道的第二端分别与活动空间连通。第一气道和第二气道的第二端与活动件之间分别设有第一封闭结构和第二封闭结构，当活动件在升降运动的最下位最上位时，第一封闭结构第二封闭结构使第一气道第二气道的第二端与活动空间的连通断开。两个检测器分别用于检测第一气道第二气道内的气体流量或气体压力。

主权项：1.一种承载平台，其特征在于，包括：设置有承载面的主体、升降驱动器、第一检测器和第二检测器；所述主体内设有活动空间，所述活动空间内设有活动件，所述活动件上连接有多个顶杆；所述主体上设有连通所述活动空间和所述承载面的通道，所述升降驱动器的输出端与所述活动件连接，用于驱动所述活动件升降以驱动所述顶杆在所述通道内升降，且所述活动件在升降运动的最上位时所述顶杆伸出所述承载面；所述主体内设有第一气道和第二气道，所述第一气道的第一端与外部抽气设备或送气设备连通，所述第二气道的第一端与外部抽气设备或送气设备连通，所述第一气道的第二端和所述第二气道的第二端分别与所述活动空间连通；所述第一气道的第二端和所述活动件之间设有第一封闭结构，所述第二气道的第二端和所述活动件之间设有第二封闭结构，当所述活动件在升降运动的最下位时，所述第一封闭结构使所述第一气道第二端与所述活动空间的连通断开；当所述活动件在所述最上位时，所述第二封闭结构使所述第二气道第二端与所述活动空间的连通断开；所述第一检测器与所述第一气道连接；所述第二检测器与所述第二气道连接；所述第一检测器用于检测所述第一气道内的气体流量或气体压力，所述第二检测器用于检测所述第二气道内的气体流量或气体压力。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 上海隐冠半导体技术有限公司 一种承载平台及到位检测方法

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