申请/专利权人：天津大学;唐山国芯晶源电子有限公司

申请日：2023-12-27

公开（公告）日：2024-03-26

公开（公告）号：CN117767908A

主分类号：H03H9/13

分类号：H03H9/13;H03H9/21

优先权：

专利状态码：在审-公开

法律状态：2024.03.26#公开

摘要：本申请实施例涉及一种音叉型压电振动片及振荡器，用以提高Q值。该音叉型压电振动片包括基部和从基部一端延伸出的两个振动臂部，两个振动臂部对称设置，且对应位置的驱动电极极性相反；针对每个振动臂部：振动臂部的第一主面设置有第一驱动槽，第一驱动槽的内壁设置有内壁驱动电极；振动臂部的第二主面设置有第二驱动槽，第二驱动槽的内壁设置有内壁驱动电极；沿振动臂部的长度方向，第一驱动槽与第二驱动槽错开，且靠近基部的驱动槽的长度大于等于远离基部的驱动槽的长度；沿振动臂部的宽度方向，振动臂部的第一主面对应第二驱动槽的位置设置有至少一片平面驱动电极，振动臂部的第二主面对应第一驱动槽的位置设置有至少一片平面驱动电极。

主权项：1.一种音叉型压电振动片，其特征在于，包括基部和从所述基部一端延伸出的两个振动臂部，所述两个振动臂部对称设置，且对应位置的驱动电极极性相反；针对每个振动臂部：所述振动臂部的第一主面设置有第一驱动槽，所述第一驱动槽的内壁设置有内壁驱动电极；所述振动臂部的第二主面设置有第二驱动槽，所述第二驱动槽的内壁设置有内壁驱动电极；沿所述振动臂部的长度方向，所述第一驱动槽与所述第二驱动槽错开，且靠近所述基部的驱动槽的长度大于等于远离所述基部的驱动槽的长度；所述振动臂部的侧壁设置有侧壁驱动电极；沿所述振动臂部的宽度方向，所述振动臂部的第一主面对应第二驱动槽的位置设置有至少一片平面驱动电极，所述振动臂部的第二主面对应第一驱动槽的位置设置有至少一片平面驱动电极；所述第一主面和所述第二主面为相对的两个面。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 天津大学;唐山国芯晶源电子有限公司 一种音叉型压电振动片及振荡器

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