申请/专利权人：之江实验室

申请日：2020-12-09

公开（公告）日：2024-04-12

公开（公告）号：CN112504966B

主分类号：G01N21/17

分类号：G01N21/17;G01N21/25;G01N21/01

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.04.12#授权;2021.04.02#实质审查的生效;2021.03.16#公开

摘要：本发明公开了一种用于光声光谱检测的硅音叉传声器，包含硅音叉、固定电极和绝缘基底，所述硅音叉包括音叉锚点、隔离梁以及传声部，所述传声部通过隔离梁连接音叉锚点，所述音叉锚点与绝缘基底固定连接，所述的固定电极为一对，且分别设置于传声部的两侧，所述绝缘基底中央设有通孔，且该通孔位于硅音叉的中央，硅音叉与固定电极之间形成可变电容，通过电容检测的方法测量声波强度，硅音叉采用双端约束结构，工作在反相振动模态，相比于传统的硅基传声器，本发明的Q值高，对环境噪声不敏感，相比于石英音叉，硅音叉使用MEMS工艺加工，体积小，可批量生产。

主权项：1.一种用于光声光谱检测的硅音叉传声器，其特征在于：包含硅音叉、固定电极和绝缘基底，所述硅音叉包括音叉锚点、隔离梁以及传声部，所述传声部通过隔离梁连接音叉锚点，所述音叉锚点与绝缘基底固定连接，所述的固定电极为一对，且分别设置于传声部的两侧，所述绝缘基底中央设有通孔，且该通孔位于传声部的中央；所述传声部包括两根连接梁和两根音叉臂，两根连接梁和两根音叉臂分别平行组成中空的矩形。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 之江实验室 一种用于光声光谱检测的硅音叉传声器

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