申请/专利权人：中国科学院半导体研究所

申请日：2023-12-25

公开（公告）日：2024-03-29

公开（公告）号：CN117783001A

主分类号：G01N21/17

分类号：G01N21/17;H04R17/00;G01R31/00

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.04.16#实质审查的生效;2024.03.29#公开

摘要：本发明提供一种石英音叉光声光谱谐振参数的检测系统及其检测方法，检测系统包括：石英音叉、谐振结构、驱动设备、检测设备和计算模块；至少一个谐振结构可活动地设于石英音叉的一侧；驱动设备、石英音叉和检测设备依次电连接，且形成检测回路；驱动设备用于输出频率可调的正弦波电压信号，检测设备检测石英音叉在第一状态下输出的第一电压信号以及在第二状态下输出的第二电压信号；计算模块基于第一电压信号和第二电压信号，获取耦合效率；在第一状态下，石英音叉的周侧未设置谐振结构，在第二状态下，谐振结构位于距离石英音叉端部的预设位置处。本发明的检测系统，系统简单，检测过程便捷，可快速、准确获取谐振结构的耦合效率。

主权项：1.一种石英音叉光声光谱谐振参数的检测系统，其特征在于，包括：石英音叉、谐振结构、驱动设备、检测设备和计算模块；至少一个所述谐振结构可活动地设于所述石英音叉的一侧；所述驱动设备、所述石英音叉和所述检测设备依次电连接，且形成检测回路；所述驱动设备用于输出频率可调的正弦波电压信号，以使所述石英音叉发生谐振，所述石英音叉具有第一状态和第二状态，所述检测设备用于检测所述第一状态下输出的第一电压信号以及所述第二状态下输出的第二电压信号；所述计算模块基于所述第一电压信号和所述第二电压信号，获取耦合效率；其中，在所述第一状态下，所述石英音叉的周侧未设置所述谐振结构，在所述第二状态下，所述谐振结构位于距离所述石英音叉端部的预设位置处。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 中国科学院半导体研究所 石英音叉光声光谱谐振参数的检测系统及其检测方法

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