申请/专利权人:无锡卓海科技股份有限公司
申请日:2023-12-07
公开(公告)日:2024-03-26
公开(公告)号:CN117393451B
主分类号:H01L21/66
分类号:H01L21/66;G06F17/18
优先权:
专利状态码:有效-授权
法律状态:2024.03.26#授权;2024.01.30#实质审查的生效;2024.01.12#公开
摘要:本发明公开了一种晶圆表面平均曲率半径的测量方法和系统,晶圆表面平均曲率半径的测量方法包括:获取拟合公式;获取镀膜后待测片的第一平均曲率半径;根据所述拟合公式和所述第一平均曲率半径,获取所述镀膜后待测片的第二平均曲率半径。本发明实施例能够过滤偏离值大的数据,从而精确的计算出单直径方向平均曲率半径。
主权项:1.一种晶圆表面平均曲率半径的测量方法,其特征在于,包括:获取拟合公式;获取拟合公式包括:根据标准片的理论曲率的第一集合和标定片的实测曲率的第二集合,获取第一拟合参数和第二拟合参数,进而获取所述拟合公式;获取镀膜后待测片的第一平均曲率半径;根据所述拟合公式和所述第一平均曲率半径,获取所述镀膜后待测片的第二平均曲率半径;所述拟合公式满足: ;其中,为所述第二平均曲率半径,为所述第一平均曲率半径,为第一拟合参数,为第二拟合参数;所述第一拟合参数满足: ;所述第二拟合参数满足: ;其中,为所述第一集合中第i个理论曲率,为所述第二集合中第i个实测曲率,为所述第一集合和所述第二集合中数据点的数量。
全文数据:
权利要求:
百度查询: 无锡卓海科技股份有限公司 一种晶圆表面平均曲率半径的测量方法和系统
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