申请/专利权人:深圳市斯尔顿科技有限公司
申请日:2019-11-13
公开(公告)日:2024-03-26
公开(公告)号:CN110836852B
主分类号:G01N21/01
分类号:G01N21/01;G01N21/17
优先权:
专利状态码:有效-授权
法律状态:2024.03.26#授权;2020.03.20#实质审查的生效;2020.02.25#公开
摘要:本申请公开一种工业OCT检测装置及方法。所述装置包括样品臂;所述样品臂包括探头组件;所述探头组件包括光束整形单元、扫描机构和多个等光程光传播单元;所述等光程光传播单元用于使光照射至待测样品;所述等光程光传播单元包括沿光的入射方向依次设置的第一反射镜和末端反射镜;各个所述第一反射镜位于同一个第一虚拟曲面上且所述第一虚拟曲面具有第一定点;所述第一反射镜和所述末端反射镜在空间中的位置和角度可使测量各个所述待测样品的样品臂光程相等。所述方法采用所述装置。本申请可实现快速检测以及可提高准确率,便于控制。
主权项:1.一种工业OCT检测装置,其特征在于:包括样品臂;所述样品臂包括探头组件;所述探头组件包括光束整形单元、扫描机构和多个等光程光传播单元;所述光束整形单元和所述扫描机构沿光的入射方向设置;所述扫描机构可使光入射至任意一个所述等光程光传播单元;所述等光程光传播单元用于使光照射至待测样品;所述等光程光传播单元包括沿光的入射方向依次设置的第一反射镜和末端反射镜;各个所述第一反射镜位于同一个第一虚拟曲面上且所述第一虚拟曲面具有第一定点,所述扫描机构的中心位于所述第一定点;或者,从所述扫描机构出射的光经过所述第一定点;所述第一反射镜和所述末端反射镜在空间中的位置和角度可使测量各个所述待测样品的样品臂光程相等;从而,实现通过单部工业OCT设备即可对分布在不同位置的多个待测样品进行快速扫描检测。
全文数据:
权利要求:
百度查询: 深圳市斯尔顿科技有限公司 工业OCT检测装置及方法
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