申请/专利权人:隆基绿能科技股份有限公司
申请日:2023-08-15
公开(公告)日:2024-03-26
公开(公告)号:CN220665507U
主分类号:C30B15/10
分类号:C30B15/10;C30B15/14
优先权:
专利状态码:有效-授权
法律状态:2024.03.26#授权
摘要:本实用新型公开了一种埚帮及单晶炉热场,埚帮包括主体段及与主体段的顶部相连的改性段,沿埚帮的高度方向,改性段的高度小于或等于主体段的高度;埚帮具有坩埚安装腔,改性段包括基体层和与基体层相连的耐蚀层,耐蚀层远离和或靠近坩埚安装腔,耐蚀层用于抵抗单晶炉热场中产生的硅蒸气的侵蚀。本实用新型实施例中,耐蚀层能够抵抗单晶炉热场中产生的硅蒸气的侵蚀,使得埚帮中的改性段不易被硅蒸气腐蚀,从而延缓了改性段的腐蚀速率,进而提高了埚帮的使用寿命。
主权项:1.一种埚帮,其特征在于,包括主体段及与所述主体段的顶部相连的改性段,沿所述埚帮的高度方向,所述改性段的高度小于或等于所述主体段的高度;所述埚帮具有坩埚安装腔,所述改性段包括基体层和与所述基体层相连的耐蚀层,所述耐蚀层远离和或靠近所述坩埚安装腔,所述耐蚀层用于抵抗单晶炉热场中产生的硅蒸气的侵蚀。
全文数据:
权利要求:
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