申请/专利权人：连城凯克斯科技有限公司

申请日：2023-11-16

公开（公告）日：2024-04-26

公开（公告）号：CN117926393A

主分类号：C30B15/20

分类号：C30B15/20;C30B29/06;F27D21/04;F27D21/00

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.05.14#实质审查的生效;2024.04.26#公开

摘要：本发明涉及单晶炉领域，具体是一种单晶炉用浸硅预警装置，包括气管；所述气管的连接部位设有预警单元；所述预警单元包括密封壳体和气压检测装置；所述密封壳体包括两侧对称的端壳和中间壳；所述端壳包括金属材质的衔接部和弹性橡胶材质的尾部；尾部与气管上密封环的配合设置，密封槽与密封环的层层镶嵌密封，同时在密封壳体内负压环境，会吸附尾部，并使得尾部发生形变，使得尾部能沿轴向贴附挤压在密封环上，有助于提高密封壳体与气管之间密封稳定性，使得密封壳体内负压环境被破坏原因，只来源于气体的连接部位气体泄漏，保证气压检测装置报警的准确性。

主权项：1.一种单晶炉用浸硅预警装置，包括气管（1）；其特征在于：所述气管（1）的连接部位设有预警单元；所述预警单元包括密封壳体（2）和气压检测装置；所述密封壳体（2）包括两侧对称的端壳和中间壳（3）；所述端壳包括金属材质的衔接部（4）和弹性橡胶材质的尾部（5）；所述气管（1）的连接部两侧均设有多个密封环（6）；所述尾部（5）内圈开设有多圈密封槽（7），端壳套设在气管（1）上，尾部（5）包裹在密封环（6），密封环（6）嵌入在密封槽（7）内，衔接部（4）通过法兰部连接中间壳（3）的端部；所述中间壳（3）套设在气管（1）的连接部位置，中间壳（3）上固接有气压检测装置的探头（8），中间壳（3）上还连通有抽气管（101）。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 连城凯克斯科技有限公司 一种单晶炉用浸硅预警装置

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