申请/专利权人：先导薄膜材料(广东)有限公司

申请日：2023-12-15

公开（公告）日：2024-03-29

公开（公告）号：CN117776721A

主分类号：C04B35/515

分类号：C04B35/515;C04B35/622;C04B35/65;C04B35/645;C23C14/34

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.04.16#实质审查的生效;2024.03.29#公开

摘要：本发明属于靶材技术领域，公开了一种碲化锌旋转靶材的制备方法，包括如下步骤：步骤1：Te粉末、Zn粉末和ZnTe粉末混合均匀，得到混合料；步骤2：将混合料进行一烧得到一烧产物，一烧温度为380‑420℃，一烧时间10‑20min；步骤3：将一烧产物球磨、均质得到均质料；步骤4：均质料装入双向压石墨旋转靶模具，进行热压烧结，降温出炉，即得高密度掺锌碲化锌旋转靶材。该方法有2个控制要点：1.研磨前要一烧，提高粉末结合均匀性，避免在双向热压过程中物质分布不均匀导致的电阻率过大；2.热压要采用双向热压，其压力可明显降低，且相对密度较高。同时，本发明还提供了该碲化锌旋转靶材。

主权项：1.一种碲化锌旋转靶材的制备方法，其特征在于，包括如下步骤：步骤1：Te粉末、Zn粉末和ZnTe粉末混合均匀，得到混合料；步骤2：将混合料进行一烧得到一烧产物，一烧温度为380-420℃，一烧时间10-20min；步骤3：将一烧产物球磨、均质得到均质料；步骤4：均质料装入双向压石墨旋转靶模具，进行热压烧结，降温出炉，即得高密度掺锌碲化锌旋转靶材；热压烧结的工艺参数为：先将环境压力抽真空至绝对真空度低于5Pa，然后升温到300～400℃，保温40～60min，继续升温到550～600℃，保温30～50min，然后开始加压，压力达到28MPa～30MPa后，继续保温50～60min。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 先导薄膜材料(广东)有限公司 一种碲化锌旋转靶材及其制备方法

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