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【发明公布】一种适用于锂电池回收的S形谐振腔MIM波导气温传感器_江苏理工学院_202311852847.8 

申请/专利权人:江苏理工学院

申请日:2023-12-29

公开(公告)日:2024-03-29

公开(公告)号:CN117782365A

主分类号:G01K13/024

分类号:G01K13/024;G01K11/32

优先权:

专利状态码:在审-实质审查的生效

法律状态:2024.04.16#实质审查的生效;2024.03.29#公开

摘要:本发明提出了一种适用于锂电池回收的S形谐振腔MIM波导气温传感器,由基底层、金属层、直波导、圆形空缺、第一谐振腔和第二谐振腔组成的;本发明包含一个平行四边形腔、一个S形腔和一个带圆形空缺的总线波导,S形腔中填充液体丙酮,激发的表面等离子体产生Fano共振,通过测量Fano共振波长,利用Fano共振波长与丙酮温度间的对应函数关系,得到环境气温;本发明的效果和益处为:体积小、寿命长、响应快、易于构建集成化光子器件。

主权项:1.一种适用于锂电池回收的S形谐振腔MIM波导气温传感器,其特征在于:所述气温传感器由基底层1、金属层2、直波导3、圆形空缺4、第一谐振腔5和第二谐振腔6组成;所述基底层1是传感器的底层,用于支撑整个结构;所述金属层2用于支持光的传播,并产生等离子共振,电子在金属中振荡,与光相互作用;所述直波导3是用来引导光的波导结构;所述圆形空缺4在直波导3的几何中心处,用于影响光的传播和谐振;所述第一谐振腔5是一个平行四边形形状的谐振腔,位于直波导3的下方;所述第二谐振腔6是一个S形谐振腔,由两个圆心角为180°的圆环波导和一个平行四边形波导组成,位于直波导3上方;以平行于所述的直波导3的长度方向为x轴,在同一水平面内且垂直于x轴的方向为y轴,同时垂直与x轴和y轴,即传感器厚度方向为z轴;通过x轴、y轴、z轴构成直角坐标系;在xy平面内,虚线a垂直于x轴且为传感器的中心线,虚线a经过直波导3的几何中心、圆形空缺4的几何中心、第一谐振腔5的几何中心、和第二谐振腔6的几何中心。

全文数据:

权利要求:

百度查询: 江苏理工学院 一种适用于锂电池回收的S形谐振腔MIM波导气温传感器

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