申请/专利权人：先导薄膜材料(广东)有限公司

申请日：2023-12-13

公开（公告）日：2024-03-29

公开（公告）号：CN117776708A

主分类号：C04B35/453

分类号：C04B35/453;C04B35/622;C04B35/634;C23C14/34

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.04.16#实质审查的生效;2024.03.29#公开

摘要：本申请属于靶材再回收利用技术领域，公开了一种ITO废靶回收再制备靶材的方法，该方法先将ITO废靶酸洗、加热蒸发、冷却、收粉，得到粉体，再将粉体与纯水混合、研磨，得到浆料一，其中粉体与纯水的质量比为0.4～0.6：1，随后向浆料一中加入粘合剂并搅拌，搅拌后得到浆料二，其中粘合剂的添加量与浆料一的质量比为2～5：100，最后将浆料二喷雾造粒、压制、烧结，得到ITO废靶回收再制备靶材，通过上述方法制备的ITO废靶回收再制备靶材在具有较低的开裂率的基础上，还具有较高的相对密度和电阻率，此外，本申请还公开了一种ITO废靶回收再制备靶材。

主权项：1.一种ITO废靶回收再制备靶材的方法，其特征在于，包括如下步骤：步骤1：将ITO废靶酸洗、加热蒸发、冷却、收粉，得到粉体；步骤2：将步骤1制得的粉体与纯水混合、研磨，得到浆料一，其中粉体与纯水的质量比为0.4～0.6：1；步骤3：向步骤2制得的浆料一中加入粘合剂并搅拌，搅拌后得到浆料二，其中粘合剂的添加量与浆料一的质量比为2～5：100；步骤4：将步骤3制得的浆料二喷雾造粒、压制、烧结，得到ITO废靶回收再制备靶材；所述步骤3中，粘合剂包括聚乙烯醇、聚丙稀酰胺、聚乙二醇，所述聚乙烯醇、聚丙稀酰胺、聚乙二醇的质量比为1～10：3～8：4～7。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 先导薄膜材料(广东)有限公司 一种ITO废靶回收再制备靶材及方法

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