申请/专利权人：北京工业大学

申请日：2021-10-19

公开（公告）日：2024-03-29

公开（公告）号：CN113945599B

主分类号：G01N23/2251

分类号：G01N23/2251

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.03.29#授权;2022.02.08#实质审查的生效;2022.01.18#公开

摘要：一种去除扫描电镜中非导电样品荷电效应的方法涉及扫描电镜领域。为了在不镀膜的条件下看到绝缘样品的真实形貌而又不会产生荷电效应，本专利提出一种消除扫描电镜下观察非导电样品的方法并提出扫描电镜下观察非导电样品的装置。利用该方法可以有效的消除部分样品表面的荷电效应，达到清晰成像的目的。本发明不但省去了复杂的镀膜工艺而且可以在扫描电镜下清楚地反映出绝缘样品形貌。

主权项：1.一种去除扫描电镜中非导电样品荷电效应的方法，其特征在于：步骤1：将非导电样品置于一上方开口的金属壳体中，在该金属壳体内置一钨丝缠绕的线圈装置用于产生热电子；钨丝的正负极接在加热电源的金属电极上，使钨丝发热并在周围正电场的作用下溢出热电子；金属壳体上连接电压可调的电源正极，为金属壳体提供一正偏压；通过对偏压电源的调节，金属壳体带有的正偏压对于非导电样品表面积累的荷电具有吸引作用；在金属壳体1的正中央为绝热陶瓷，绝热陶瓷4的上表面平整，用于放置样品；绝热陶瓷4的外围为螺旋状的钨丝5，钨丝5与绝热陶瓷4无接触且两者上表面平齐；步骤2：并用扫描电镜对非导电样品进行扫描；直至出现明显的荷电现象即肉眼看到样品图像局部或是整体的明亮现象；步骤3：钨丝上加供电直流电源，金属壳体上施加偏压电源，同时打开金属壳体上的偏压电源与钨丝的供电直流电源并调节钨丝上的电压，使钨丝加热产生热电子，调节加载在金属壳体上的偏压电压，调节正电场的大小；非导电样品表面积累的电荷会被钨丝上散发的电子激发，受到激发的表面电荷在正电场的作用下向金属壳体移动，从而减弱或消除荷电效应带来的图像缺陷；步骤4：观察扫描图像的变化，调节钨丝温度和金属壳体上的偏压大小，直至扫描电镜图上的异常亮的区域亮度消失。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 北京工业大学 一种去除扫描电镜中非导电样品荷电效应的方法

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