申请/专利权人：佳宸科技有限公司

申请日：2018-06-07

公开（公告）日：2024-03-29

公开（公告）号：CN110581097B

主分类号：H01L21/677

分类号：H01L21/677

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.03.29#授权;2020.01.10#实质审查的生效;2019.12.17#公开

摘要：本发明在于提供一种能避免在移动时碰撞到晶圆的宽度可调式移动机构。其技术手段：为能配合晶圆生产设备应用，其中，宽度可调式移动机构包括有一具有垂直部及水平部的座体；一设于水平部表面边缘上的导轨；一设于导轨顶侧面一端的第一托臂组；一设置于导轨顶侧面另一端的第二托臂组；一设于垂直部前侧面一端的被动轮；一设置于垂直部前侧面另一端的主动轮；一环状绕设于被动和主动轮外，并形成顶、底侧区段的挠性带体；以及一与主动轮轴接的驱动装置；顶侧区段与第一托臂组连接，底侧区段与第二托臂组连接，而驱动装置能带动挠性带体，使第一、二托臂组同步连动，往相反方向移动用。

主权项：1.一种宽度可调式移动机构，能配合晶圆生产设备应用，其特征在于：所述宽度可调式移动机构100，包括有一座体1，其具有一侧相互交接的一垂直部11、及一水平部12；一导轨2，其设于该水平部12表面边缘上；一第一托臂组3，其设于该导轨2顶侧面一端；一第二托臂组4，其设置于该导轨2顶侧面另一端，能配合该第一托臂组3，一同吸附定位住晶圆10，以稳定托载该晶圆10；一被动轮5，其设于该垂直部11前侧面一端；一主动轮6，其设置于该垂直部11前侧面另一端；一挠性带体7，其呈环状绕设于该被动轮5和该主动轮6外，并形成一顶侧区段71与一底侧区段72，且该顶侧区段71与该第一托臂组3连接，而该底侧区段72与该第二托臂组4连接，以构成连动关系；以及一驱动装置8，其与该主动轮6轴接，能供带动该挠性带体7，使该第一托臂组3与该第二托臂组4同步连动，往相反方向移动用；所述第一托臂组3，其还包括有依序由下往上堆栈设置的一能与该导轨2配合的滑座A、一设于该滑座A顶端的支撑块B、一设于该支撑块B顶端并能与该挠性带体7配合的连接板C、一设于该连接板C顶端的气座D、一片一端设于该气座D顶端的托臂板E、以及一设于该气座D与该托臂板E间的密封圈F；所述第二托臂组4，其还包括有依序由下往上堆栈设置的一能与该导轨2配合的滑座A、一设于该滑座A顶端并能与该挠性带体7配合的连接板C、一设于该连接板C顶端的支撑块B、一设于该连接板C顶端的气座D、一片一端设于该气座D顶端的托臂板E、以及一设于该气座D与该托臂板E间的密封圈F；所述挠性带体7，其是为一皮带、链条结构，其中之一者；所述连接板C，其与该挠性带体7连接处，还设有一能供容纳该挠性带体7对应部分的沟槽C1，而该沟槽C1的顶端开口处，还设有一能与该挠性带体7配合的定位片体C2；所述气座D，其还设有一设于该气座D顶端且对应于该密封圈F的气孔D1、一设于该气座D内且能让该气孔D1与外部真空泵连通的通气道D2、以及一与该托臂板E一端配合的定位凹槽D3；所述托臂板E，其还包括有一由固定端往外呈由宽变窄状设置的托臂本体E1、及一嵌设于该托臂本体E1底端面的封闭片体E2，该托臂本体E1自由端设有一吸气定位孔E11，而该托臂本体E1内设有一由该吸气定位孔E11处，延伸设置至对应于该气孔D1处的通气槽E12，另该托臂本体E1与该封闭片体E2嵌合处，还凹设有一与该通气槽E12连通的嵌槽E121，该封闭片体E2对应于该气孔D1处，还设有一通道孔E21。

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