申请/专利权人：拉普拉斯(西安)科技有限责任公司

申请日：2023-09-28

公开（公告）日：2024-04-23

公开（公告）号：CN220827456U

主分类号：C23C14/50

分类号：C23C14/50

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.04.23#授权

摘要：本实用新型属于硅片加工技术领域，公开了移动机构、移动装置及镀膜设备。该移动结构包括传动组件和纠偏组件，传动组件用于带动载板移动；纠偏组件设置于传动组件，纠偏组件用于对载板的位置进行纠偏。通过在传动组件上设置纠偏组件，在传动组件带动载板移动时，纠偏组件能够实时对载板进行纠偏，不仅避免载板出现位置偏移，还能有效降低载板的导向成本。

主权项：1.移动机构，用于输送载板2，其特征在于，所述移动机构1包括：传动组件10，用于带动所述载板2移动；纠偏组件20，设置于所述传动组件10，所述纠偏组件20用于对所述载板2的位置进行纠偏。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 拉普拉斯(西安)科技有限责任公司 移动机构、移动装置及镀膜设备

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