申请/专利权人：云南润阳世纪光伏科技有限公司

申请日：2023-07-28

公开（公告）日：2024-03-29

公开（公告）号：CN116864546B

主分类号：H01L31/0216

分类号：H01L31/0216;H01L31/0224;H01L31/06;H01L31/18

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.03.29#授权;2024.02.27#专利申请权的转移;2023.10.27#实质审查的生效;2023.10.10#公开

摘要：本发明公开了一种背poly太阳能电池，包括：硅衬底，沿硅衬底正面方向依次设置正面选择性发射极、正面减反钝化层，沿硅衬底背面方向依次设置TOPCon钝化接触结构、背面选择性发射极、背面减反钝化层；还包括，与正面选择性发射极形成欧姆接触的立体化的正面金属电极与栅线，以及与背面选择性发射极形成欧姆接触的立体化的背面金属电极与栅线，以及背面栅线下的富磷层。本发明通过增加磷浆栅线涂敷，选择性的提高栅线区域的接触，再通过选择性的激光消融降低非接触区的隧穿层厚度，降低非接触区的复合，有效提高背面钝化效果，提升电池的开压电流，达到在优化电池效率分布的同时又能提升电池效率的目的。

主权项：1.一种背poly太阳能电池制备方法，其特征在于，包括如下步骤：S100：选择N型品体硅硅片作为硅衬底1，进行制绒清洗：S200：对制绒后的硅衬底1正面利用含硼掺杂源形成硼扩散层，以制备P+层2；S300：在P+层2的金属化区域进行图形化激光掺杂形成P++层3，P++层3的图形与正面金属电极11印刷图形相对应，形成正面选择性发射极的重掺杂区和轻掺杂区；S400：去除硅衬底1边缘磷扩散形成的硼硅玻璃及背面制备光滑平整结构；S500：对硅衬底1背面制备TOPCon钝化接触结构，TOPCon钝化接触结构即作为N+层；S600：对N+层进行含磷扩散源的栅线图形化涂覆，以制备图形化的N++层8，N++层8的图形与背面金属电极12印刷图形相对应；S700：通过高温条件，将S600中形成的N型晶体硅形成氧化硅薄膜作为介质阻挡层；S800：在N型晶体硅硅片正面和背面分别镀膜，以形成正面减反钝化层和背面减反钝化层；S900：印刷正面金属电极11和背面金属电极12，烧结；S600具体包括：S601：对N+层上进行含磷扩散源的图形化涂覆；S602：对N++层8图形化涂覆的磷浆进行烘干固化；采用烘干箱21对N++层8图形化涂覆的磷浆进行烘干固化，烘干箱21包括：喷管33，喷管33滑动连接于烘干箱21内壁顶端，喷管22端部与烘干箱21内壁之间连接有弹簧，喷管22与高温供气设备连接，用于向电池片喷吹热气；传送平台22，传送平台22水平连接于烘干箱21内壁，用于输送电池片；箱门23，箱门23连接于烘干箱21的进料端的竖直滑槽24内，箱门23内侧端连接有横杆29且横杆上连接有凸块30；烘干箱21包括箱门开启单元，箱门开启单元包括：转辊25，转辊25转动连接于烘干箱21顶端的传动腔内，且转辊25转轴一端连接有电机，转辊25的正面开设有多个沿圆周方向首尾相接的滑槽一26和滑槽二27，滑槽一26和滑槽二27的弯曲方向相反；竖杆28，竖杆28上设有滑块，滑块一端滑动连接于滑槽一26和滑槽二27内，另一端滑动连接于烘干箱21的竖直滑槽内；转杆31，转杆31铰接于烘干箱21内壁且铰接处设有卷簧，转杆31一端与竖杆28抵接，转杆31另一端开设有与凸块30滑动连接的滑槽三32；限位齿37，限位齿37铰接于传动腔侧端的凹槽内并单向转动，限位齿37与转辊25上的卡齿段卡接；带轮34，带轮34转动连接于烘干箱21顶端的传动腔内，带轮34通过同步带与转辊25上的带轮段连接；凸轮35，凸轮35同心连接于带轮34转轴上；拨块36，拨块36连接于喷管33顶端，凸轮35与拨块36抵接；箱门23底端连接有集水单元，集水单元包括：底座41，底座41滑动连接于箱门23底端，底座41底端对称连接有滚轮；托盘42，托盘42设于底座41上方且与箱门23侧端连接，托盘42底端的方柱43插接于底座41顶端的方孔44内且方柱43底端连接有弹簧，底座41上设有供托盘42滑动的开槽；集水座45，集水座45连接于底座41顶端且布置于托盘42上方，集水座45顶端连接有框体46，集水座45和框体46内封装有吸水棉47；压板48，压板48滑动连接于集水座45内壁，压板48底端连杆穿过集水座45与托盘42连接，压板48出水口通过管路49与底座41内的集水腔38连通，压板48顶面设置为向出水口倾斜的斜面。

全文数据：

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