申请/专利权人：上海广川科技有限公司

申请日：2023-10-27

公开（公告）日：2024-03-29

公开（公告）号：CN117246736B

主分类号：B65G47/248

分类号：B65G47/248

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.03.29#授权;2024.01.05#实质审查的生效;2023.12.19#公开

摘要：本发明提供了一种晶圆回旋翻转机构及其回旋翻转方法，其中该机构包括：夹爪模块，直线模组，行程架，支座，变轨模块，转轴，触发件，拨动件，其中所述转轴第一端与夹爪模块连接、第二端与触发件花键联接，所述支座套接在转轴上旋转连接，所述直线模组的移动端与支座连接，所述拨动件设置在行程架的触发位，所述变轨模块的拨动端与支座连接，以随直线模组的往复位移，来拨动触发件，使其在转轴上往复位移，进而控制触发件与拨动件在直线模组的位移路径上联动脱离，以联动转轴将夹爪模块翻转后回归原位，籍此以减少晶圆翻转传递时，翻转机构与Robot手指间的交互动作。

主权项：1.一种晶圆回旋翻转机构，其包括：夹爪模块，直线模组，行程架，支座，变轨模块，转轴，触发件，拨动件，其中所述转轴第一端与夹爪模块连接、第二端与触发件花键联接，所述支座套接在转轴上旋转连接，所述直线模组的移动端与支座连接，所述拨动件设置在行程架的触发位，所述变轨模块的拨动端与支座连接，以随直线模组的往复位移，来拨动触发件，使其在转轴上往复位移，进而控制触发件与拨动件在直线模组的位移路径上联动脱离，以联动转轴将夹爪模块翻转后回归原位，其中所述变轨模块包括：导轨件，诱导件，第一滑轨，所述导轨件连接在行程架第一侧，所述导轨件上设有回旋引导槽，所述诱导件上设有凸块及拨指，所述诱导件与支座间经第一滑轨形成滑动连接，所述凸块伸入回旋引导槽，受其引导，以在直线模组带动支座纵向往复位移过程中，联动诱导件沿第一滑轨横向往复位移，以控制拨指拨动触发件，令其在转轴上往复位移，来控制触发件与拨动件处于共线非共线的行程路径上，其中所述回旋引导槽中段呈双道导槽状、两端呈并道收窄为非共线的单道导槽状。

全文数据：

权利要求：

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