申请/专利权人：中国科学院近代物理研究所

申请日：2023-12-26

公开（公告）日：2024-04-16

公开（公告）号：CN117896887A

主分类号：H05H1/46

分类号：H05H1/46;H01J37/32;H01J37/08;H01J37/24;H05H1/24;H05H1/03;H05H13/00

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.05.03#实质审查的生效;2024.04.16#公开

摘要：本发明公开了一种电子回旋共振离子源的脉冲离子束波形调制装置及方法，其中脉冲离子束波形调制装置包括调制盘、调制盘装置和微波机，调制盘装置包括兰盘、支撑金属盘和脉冲电压传导件，调制盘设置在支撑金属盘上，且与等离子体弧腔电连接；脉冲电压传导件穿过法兰盘，且外端伸出法兰盘形成操控端，内端穿过支撑金属盘并伸入至调制盘内；法兰盘上设置有微波接口，微波机与微波接口相连通。等离子体弧腔内流动的离子束在脉冲微波的作用下变成脉冲离子束，脉冲离子束轰击调制盘的过程中，高压和脉冲电压分别通过所述支撑金属盘和脉冲电压传导件传导至调制盘，并在调制盘上相互作用，调制出脉冲离子束波形。

主权项：1.一种电子回旋共振离子源的脉冲离子束波形调制装置，包括电子回旋共振离子源，所述电子回旋共振离子源配置有等离子体弧腔10，所述等离子体弧腔10配置有高压直流电源，其特征在于，还包括调制盘20、调制盘装置和微波机，所述调制盘装置包括法兰盘21、支撑金属盘22和脉冲电压传导件，所述支撑金属盘22设置等离子体弧腔10的等离子体弧腔10内，所述调制盘20设置在所述支撑金属盘22上，且所述调制盘20与所述等离子体弧腔10电连接；所述法兰盘21设置等离子体弧腔10的原子进口端，所述脉冲电压传导件穿过所述法兰盘21，且外端伸出所述法兰盘21形成操控端，内端端头伸入至所述调制盘20内；所述法兰盘21上设置有微波接口32，所述微波机与所述微波接口32相连通：其中，所述微波机，用于产生微波脉冲；所述高压直流电源，用于为等离子体弧腔10提供高压；所述操控端用于对接脉冲电压，以调制波形；等离子体弧腔10内流动的离子束在脉冲微波的作用下变成脉冲离子束，脉冲离子束轰击所述调制盘20的过程中，高压和脉冲电压分别通过所述支撑金属盘22和所述脉冲电压传导件传导至所述调制盘20，并在所述调制盘20上相互作用，调制出脉冲离子束波形。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 中国科学院近代物理研究所 一种电子回旋共振离子源的脉冲离子束波形调制装置及方法

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