申请/专利权人：矽电半导体设备(深圳)股份有限公司

申请日：2023-12-27

公开（公告）日：2024-03-29

公开（公告）号：CN117471392B

主分类号：G01R35/00

分类号：G01R35/00;G01B11/00;G01B11/24;G06T7/00;G06T7/136;G06T7/60;G06T7/70

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.03.29#授权;2024.02.20#实质审查的生效;2024.01.30#公开

摘要：本申请实施例提供了一种探针针尖的检测方法、系统、电子设备及存储介质，属于半导体测试技术领域。方法包括：获取被测探针对电子元件扎针时拍摄的第一图像并框选出目标电子元件的扎针图；将扎针图与基准模板对齐；其中，基准模板由对未被被测探针扎针的第二图像中的目标电子元件框选得到；对扎针图和基准模板建立灰度矩阵，根据灰度矩阵确定被测探针的针尖形状；从第一图像中确定被测探针所在方向的多条针尖垂线，并对多条针尖垂线进行逐行检测直至检测到目标灰度点，将目标灰度点所在的位置作为针尖位置；基于针尖形状和针尖位置，得到探针针尖检测结果。本申请能够提高探针针尖检测结果的准确性和识别的效率。

主权项：1.一种探针针尖的检测方法，其特征在于，所述方法包括：获取被测探针对电子元件扎针时拍摄的第一图像，并从所述第一图像中框选出目标电子元件的扎针图；将所述扎针图与基准模板对齐；其中，所述基准模板由对第二图像中的所述目标电子元件框选得到；所述第二图像通过所述目标电子元件未被所述被测探针扎针时拍摄得到；对所述扎针图和所述基准模板建立灰度矩阵，并根据所述灰度矩阵确定所述被测探针的针尖形状；从所述第一图像中确定所述被测探针所在方向的多条针尖垂线，并根据多条所述针尖垂线进行逐行检测，直至检测到目标灰度点，将所述目标灰度点所在的位置作为针尖位置；基于所述针尖形状和所述针尖位置，得到探针针尖检测结果。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 矽电半导体设备(深圳)股份有限公司 探针针尖的检测方法、系统、电子设备及存储介质

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