申请/专利权人：三星显示有限公司

申请日：2023-09-15

公开（公告）日：2024-04-02

公开（公告）号：CN117812980A

主分类号：H10K71/40

分类号：H10K71/40;H01L21/67

优先权：["20220930 KR 10-2022-0125223"]

专利状态码：在审-公开

法律状态：2024.04.02#公开

摘要：一种激光结晶设备包括：多个激光发生器，生成入射激光束；光学系统，将入射激光束光学转换为输出激光束；处理室，在处理室中，形成在基板上的薄膜通过照射到薄膜的输出激光束被结晶；第一监测装置，检测输出激光束的合成脉冲；第二监测装置，检测入射激光束的单独脉冲；以及控制器，控制多个激光发生器的振荡时间。控制器通过将入射激光束的单独脉冲组合来生成多个合成脉冲，并且从多个合成脉冲中推导出最佳合成脉冲。

主权项：1.一种激光结晶设备，包括：多个激光发生器，生成入射激光束；光学系统，将所述入射激光束光学转换为输出激光束；处理室，在所述处理室中，形成在基板上的薄膜通过照射到所述薄膜的所述输出激光束被结晶；第一监测装置，检测所述输出激光束的合成脉冲；第二监测装置，检测所述入射激光束的单独脉冲；以及控制器，控制所述多个激光发生器的振荡时间，其中，所述控制器通过将所述入射激光束的所述单独脉冲组合来生成多个合成脉冲，并且从所述多个合成脉冲中推导出最佳合成脉冲。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 三星显示有限公司 激光结晶设备

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