申请/专利权人：福建省晋华集成电路有限公司

申请日：2023-12-29

公开（公告）日：2024-04-02

公开（公告）号：CN117806129A

主分类号：G03F7/20

分类号：G03F7/20;H01L21/027

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.04.19#实质审查的生效;2024.04.02#公开

摘要：本发明提供了一种晶圆聚焦区域的选择方法及操作界面系统，包括：提供晶圆版图，晶圆版图包括图形定义区和非图形定义区；根据图形定义区和非图形定义区设置多个曝光区域；模拟检测图形定义区的曝光聚焦信息，获得图形定义区中不具有曝光聚焦信息的区域作为第一聚焦区域；获得第一聚焦区域对应的曝光区域；选择位于第一聚焦区域对应的曝光区域内的至少部分非图形定义区并设定为第二聚焦区域；合并图形定义区和第二聚焦区域以产生第三聚焦区域；扣除非图形定义区内的第二聚焦区域以产生第四聚焦区域；输出第三聚焦区域和第四聚焦区域至晶圆上。本发明通过选择设定第三聚焦区域和第四聚焦区域，从而避免曝光时晶圆边缘散焦。

主权项：1.一种晶圆聚焦区域的选择方法，其中，包括：提供晶圆版图，所述晶圆版图包括图形定义区和非图形定义区，所述图形定义区和所述非图形定义区设置在晶圆上且所述非图形定义区环绕所述图形定义区；根据所述图形定义区和所述非图形定义区设置多个曝光区域，其中至少一所述曝光区域包括部分所述图形定义区和部分所述非图形定义区；模拟检测所述图形定义区的曝光聚焦信息，获得所述图形定义区中不具有曝光聚焦信息的区域作为第一聚焦区域；获得所述第一聚焦区域对应的曝光区域；选择位于所述第一聚焦区域对应的曝光区域内的至少部分所述非图形定义区并设定为第二聚焦区域；合并所述图形定义区和所述第二聚焦区域以产生第三聚焦区域；扣除所述非图形定义区内的所述第二聚焦区域以产生第四聚焦区域；以及，输出所述第三聚焦区域和所述第四聚焦区域至所述晶圆上。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 福建省晋华集成电路有限公司 晶圆聚焦区域的选择方法及操作界面系统

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