申请/专利权人：福州大学

申请日：2024-01-02

公开（公告）日：2024-04-02

公开（公告）号：CN117800711A

主分类号：C04B35/01

分类号：C04B35/01;C04B35/457;C04B35/453;C04B35/622;C04B35/626;C23C14/34;C23C14/35

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.04.19#实质审查的生效;2024.04.02#公开

摘要：本发明提供一种氧化物靶材制备方法，先将多种不同的金属氧化物粉进行混合球磨，同时在球磨过程中加入超声技术，获得金属氧化物混合浆料1；然后将粘结剂加入到混合浆料1中后再次进行球磨，球磨过程中加入超声技术，细化分散过程，得到混合浆料2；将混合浆料2注入模具中进行成型，脱模后得到生坯，最后对生坯依次进行干燥、脱脂和烧结，得到高质量氧化物靶材；本发明在球磨过程中加入超声技术，利用超声波的高能量，进一步打散球磨过程中的团聚颗粒，有效解决球磨过程中混合不均匀的问题；在分散过程中利用球磨和超声波细化分散过程，使混合浆料粒径分布均匀，具有高的致密性。因此，本发明制备的氧化物靶材成分均匀，致密性高，性能好。

主权项：1.一种氧化物靶材制备方法，其特征在于，包括以下步骤：1将第一金属氧化物粉和第二金属氧化物粉进行混合球磨，球磨过程中加入超声技术，得到金属氧化物的混合浆料（1）；2将步骤1所述混合浆料（1）和粘结剂混合后再次球磨，球磨过程中加入超声技术，细化分散过程，得到混合浆料（2）；3将步骤2所述混合浆料（2）注入模具中进行成型，脱模后得到生坯，对所述生坯依次进行干燥、脱脂和烧结，得到二元氧化物靶材。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 福州大学 一种氧化物靶材制备方法

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