申请/专利权人：广东工业大学

申请日：2023-12-29

公开（公告）日：2024-04-02

公开（公告）号：CN117800611A

主分类号：C03C15/00

分类号：C03C15/00

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.04.19#实质审查的生效;2024.04.02#公开

摘要：本发明涉及玻璃湿法蚀刻技术领域，提供了一种用于玻璃湿法蚀刻的装置，包括集成有加热功能的超声波组件、设置于所述超声波组件内的超声波水槽、可拆卸设置于所述超声波水槽内的蚀刻槽体、环绕所述蚀刻槽体设置并固定于所述蚀刻槽体的周侧的冷却盘管、固定于所述超声波水槽的开口位置的搅动组件以及可拆卸固定于所述搅动组件并延伸至所述蚀刻槽体内的夹具。本发明中用于玻璃湿法蚀刻的装置可以使超声波分布均匀、蚀刻液浓度均匀且能避免沉积物堵塞孔洞的情况。

主权项：1.一种用于玻璃湿法蚀刻的装置，其特征在于，所述用于玻璃湿法蚀刻的装置包括集成有加热功能的超声波组件、设置于所述超声波组件内的超声波水槽、可拆卸设置于所述超声波水槽内的蚀刻槽体、环绕所述蚀刻槽体设置并固定于所述蚀刻槽体的周侧的冷却盘管、固定于所述超声波水槽的开口位置的搅动组件以及可拆卸固定于所述搅动组件并延伸至所述蚀刻槽体内的夹具；所述超声波组件用于释放超声波，所述蚀刻槽体用于储存蚀刻液，所述冷却盘管用于接入冷却水，所述搅动组件用于带动所述夹具运动，所述夹具用于夹设玻璃基材并使夹设的玻璃基材竖直固定。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 广东工业大学 一种用于玻璃湿法蚀刻的装置

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