申请/专利权人：北京北方华创微电子装备有限公司

申请日：2022-09-23

公开（公告）日：2024-04-02

公开（公告）号：CN117810111A

主分类号：H01L21/67

分类号：H01L21/67;H01L21/687

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.04.19#实质审查的生效;2024.04.02#公开

摘要：本申请提供一种紫外光照装置、控制方法和紫外光固化设备，其通过主电机驱动带轮组件转动，皮带在带轮组件间传动，带轮组件转动的同时带动光照机构转动。在皮带的张紧度过紧或过松时，调节组件可带动张紧轮移动，实现皮带张紧度的实时调节，避免皮带与带轮组件之间发生打滑或跳齿，进而保证紫外光均匀照射晶圆表面，减少了晶圆在紫外光固化过程中产生表面异常，保证了产品质量。

主权项：1.一种紫外光照装置，用于紫外光固化设备，其特征在于，包括光照机构和旋转机构，所述旋转机构包括主电机、带轮组件和皮带，所述带轮组件与所述光照机构相连、用于在所述主电机的驱动下转动、并带动所述光照机构旋转；所述皮带环绕所述带轮组件设置，用于所述带轮组件的传动；所述旋转机构还包括张紧轮和调节组件；所述张紧轮，用于张紧所述皮带；所述调节组件，用于带动所述张紧轮移动、以实时调节所述皮带的张紧度。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 北京北方华创微电子装备有限公司 紫外光照装置、控制方法和紫外光固化设备

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