申请/专利权人：LOTCES有限公司

申请日：2023-04-25

公开（公告）日：2024-04-02

公开（公告）号：CN117813671A

主分类号：H01J37/32

分类号：H01J37/32;B01D53/32

优先权：["20220429 KR 10-2022-0053176"]

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.04.19#实质审查的生效;2024.04.02#公开

摘要：本发明提供废气处理用电感耦合等离子体装置，包括：设置于在半导体制造设备的工艺腔室产生的废气排出的排气管上，产生电感耦合等离子体来按反复的运行循环处理所述废气的电感耦合等离子体反应器；通过传输线向所述电感耦合等离子体反应器供应高频电力的电源；及匹配所述电感耦合等离子体反应器侧的阻抗和所述电源侧的阻抗的阻抗匹配部，所述阻抗匹配部具备：具备可变蓄电元件的第一阻抗变更部、具备变压器的第二阻抗变更部、测量所述电感耦合等离子体反应器的运行数据的运行数据测量器、利用在一个运行循环由所述运行数据测量器获取的运行数据采样值调节基于所述可变蓄电元件的电容并控制所述变压器的工作与否来变更匹配阻抗的控制器。

主权项：1.一种废气处理用电感耦合等离子体装置，包括：电感耦合等离子体反应器，其设置于在半导体制造设备的工艺腔室产生的废气排出的排气管上，产生电感耦合等离子体来按反复的运行循环处理所述废气；电源，其通过传输线向所述电感耦合等离子体反应器供应高频电力；以及阻抗匹配部，其匹配所述电感耦合等离子体反应器侧的阻抗和所述电源侧的阻抗，所述阻抗匹配部具备：具备可变蓄电元件的第一阻抗变更部；具备变压器的第二阻抗变更部；测量所述电感耦合等离子体反应器的运行数据的运行数据测量器；利用在一个运行循环通过所述运行数据测量器获取的运行数据采样值调节基于所述可变蓄电元件的电容并控制所述变压器的工作与否来变更匹配阻抗的控制器。

全文数据：

权利要求：

百度查询： LOTCES有限公司 废气处理用电感耦合等离子体装置

免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。

阅读全文 双屏查看 官方信息 专利公告 收藏专利 下载PDF 下载WORD