申请/专利权人：国仪量子技术(合肥)股份有限公司

申请日：2023-12-28

公开（公告）日：2024-04-02

公开（公告）号：CN117810051A

主分类号：H01J37/153

分类号：H01J37/153;H01J37/28;G01N23/2251

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.04.19#实质审查的生效;2024.04.02#公开

摘要：本发明公开了一种像散调节系统和方法。该像散调节系统包括：信号发生器、扫描控制器、扫描偏转器、消像散控制器和消像散器；信号发生器用于生成扫描电压信号；扫描控制器用于根据接收到的扫描电压信号，生成扫描驱动信号；扫描偏转器用于根据接收到的扫描驱动信号，生成预设磁场，以调节电子束的偏转角度，对样品的相应位置扫描得到初始图像；消像散控制器用于根据扫描电压信号和直流电压控制信号，生成消像散驱动信号；其中，直流电压控制信号由消像散控制器生成；消像散器用于根据消像散驱动信号调节电子束的束斑形状，以调节初始图像的像散得到目标图像。本发明实施例的技术方案有利于快速确定最佳的消像散器电流值，实现消像散器的快速调节。

主权项：1.一种像散调节系统，其特征在于，包括：信号发生器、扫描控制器、扫描偏转器、消像散控制器和消像散器；所述信号发生器用于生成扫描电压信号；其中，所述扫描电压信号包括沿不同方向对样品进行扫描得到的电压信号；所述扫描控制器用于根据接收到的所述扫描电压信号，生成扫描驱动信号；其中，所述扫描驱动信号包括与所述扫描电压信号对应扫描方向的电流信号；所述扫描偏转器用于根据接收到的所述扫描驱动信号，生成预设磁场，以调节电子束的偏转角度，对样品的相应位置扫描得到初始图像；所述消像散控制器用于根据所述扫描电压信号和直流电压控制信号，生成消像散驱动信号；其中，所述直流电压控制信号由所述消像散控制器生成；所述消像散器用于根据所述消像散驱动信号调节所述电子束的束斑形状，以调节所述初始图像的像散得到目标图像。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 国仪量子技术(合肥)股份有限公司 一种像散调节系统和方法

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