申请/专利权人：南京埃米仪器科技有限公司

申请日：2024-02-20

公开（公告）日：2024-04-02

公开（公告）号：CN117805442A

主分类号：G01Q60/38

分类号：G01Q60/38

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.04.19#实质审查的生效;2024.04.02#公开

摘要：本发明公开了一种制备高深宽比压阻自感应式原子力显微镜探针的方法，包括如下步骤：S1、准备工作；S2、对探针的尖端进行预先处理；S3、将S2中探针装在探针制备设备上，并将材料置于探针制备设备的样品台上，将扫描电子显微镜置于探针制备设备的附近；S4、调节探针制备设备；S5、抓取S3中的材料，并将材料送至标准压阻自感应式原子力显微镜探针的针尖处。优点，本发明方法与现有的方法相比，操作流程少，良品率高。

主权项：1.一种制备高深宽比压阻自感应式原子力显微镜探针的方法，其特征在于，包括如下步骤：S1、准备工作，准备好探针制备设备、标准压阻自感应式原子力显微镜探针（25）、扫描电子显微镜（5）和材料；S2、对标准压阻自感应式原子力显微镜探针（25）的尖端进行预先处理；S3、将S2中的标准压阻自感应式原子力显微镜探针（25）装在探针制备设备上，并将材料置于探针制备设备的样品台（4）上，将扫描电子显微镜（5）置于探针制备设备的附近；S4、调节探针制备设备，将标准压阻自感应式原子力显微镜探针位于扫描电子显微镜的测量头的正下方，使得标准压阻自感应式原子力显微镜探针的针尖的图像在扫描电子显微镜中清晰可见；S5、调节探针制备设备，使其抓取S3中的材料，并将材料送至标准压阻自感应式原子力显微镜探针的针尖处。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 南京埃米仪器科技有限公司 一种制备高深宽比压阻自感应式原子力显微镜探针的方法

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