申请/专利权人：宁波尚进自动化科技有限公司

申请日：2023-10-31

公开（公告）日：2024-04-02

公开（公告）号：CN117153714B

主分类号：H01L21/66

分类号：H01L21/66;G01R31/66;G01R27/26

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.04.02#授权;2023.12.19#实质审查的生效;2023.12.01#公开

摘要：本公开提供了一种焊接键合的检测方法、系统、设备及其介质。该检测方法包括：对待检测焊点施加脉冲信号；其中，在每个脉冲周期施加不同频率的脉冲信号；获取焊点的采样数据，将采样数据转换为频谱数据；从频谱数据中选取得到目标频率区间，将采样数据基于目标频率区间处理得到焊点检测数据；基于焊点检测数据判断得到焊点的检测结果。通过施加不同频率的脉冲，从采样数据转换的频谱数据中选取最优的目标频率区间，基于目标频率区间检测得到，达到兼容不同焊点，不同电子器件导通特性，自动选择放大倍数挡位，将不同频率下采集的信号差值进行放大倍数实时调整，使在不同频率下采集精度达到最优，以实现在超高频率下精确检测微小电容的变化。

主权项：1.一种焊接键合的检测方法，其特征在于，用于检测焊接键合的检测电路包括DDS电路，所述检测方法包括：对待检测焊点施加脉冲信号；其中，在每个脉冲周期施加不同频率的所述脉冲信号；获取所述焊点的采样数据，将所述采样数据转换为频谱数据；从所述频谱数据中选取得到目标频率区间；将所述采样数据基于所述目标频率区间处理得到所述焊点的检测数据，包括：将所述采样数据输入DDS电路输出合成数据；其中，所述目标频率区间作为所述DDS电路的输出频率区间；获取所述焊点的参考数据，所述参考数据表征所述检测电路未接触所述焊点时的电参数；计算所述合成数据与所述参考数据的差值；所采样数据包括采样电压，获取所述采样电压的目标饱和电压；其中，所述差值的放大倍数,其中i=1，2……n,对应n个饱和电压区间，n为自然数；基于所述目标饱和电压对应的第i个饱和区间，选取放大倍数作为目标放大倍数；将所述差值基于所述目标放大倍数得到所述焊点的检测数据；基于所述焊点的检测数据得到所述焊点的检测结果，包括：将所述焊点的检测数据与预设检测阈值比较得到对应的检测结果。

全文数据：

权利要求：

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