申请/专利权人：鸿富锦精密电子(成都)有限公司

申请日：2020-08-11

公开（公告）日：2024-04-02

公开（公告）号：CN114076567B

主分类号：G01B7/34

分类号：G01B7/34

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.04.02#授权;2022.03.11#实质审查的生效;2022.02.22#公开

摘要：一种平面度检测装置，用于检测待检测工件的平面度，所述装置包括：工件平台，所述工件平台用于放置所述待检测工件；支撑臂；电源；导电弹簧，所述导电弹簧与所述待检测工件接触，并与所述电源的第一极连接；探针，所述探针与所述电源的第二极连接，所述探针与所述支撑臂移动连接来朝所述待检测工件运动直至接触所述待检测工件的检测点形成通电回路，减小了待检测工件产生形变的可能性。

主权项：1.一种平面度检测装置，用于检测待检测工件的平面度，其特征在于，所述装置包括：工件平台，所述工件平台用于放置所述待检测工件；支撑臂；电源；导电弹簧，所述导电弹簧与所述待检测工件接触，并与所述电源的第一极连接；探针，所述探针与所述电源的第二极连接，所述探针与所述支撑臂移动连接来朝所述待检测工件运动直至接触所述待检测工件的检测点形成通电回路；所述导电弹簧还用于支撑所述待检测工件，并为所述待检测工件被所述探针接触时的移动提供位移空间；所述装置还包括控制器，所述控制器用于控制所述探针接触所述待检测工件的检测点形成所述通电回路，根据所述通电回路及所述导电弹簧为所述待检测工件的移动提供位移空间确定所述待检测工件的检测点的高度，以确定所述待检测工件的平面度；所述控制器用于控制所述探针朝所述待检测工件运动第一预设距离，控制所述探针每次朝所述待检测工件运动第二预设距离直至接触所述待检测工件的检测点，控制所述探针每次远离所述待检测工件运动第三预设距离直至远离所述待检测工件的检测点，并控制所述探针每次朝所述待检测工件运动第四预设距离直至接触所述待检测工件的检测点，并根据所述第一预设距离、所述第二预设距离、所述第三预设距离及所述第四预设距离确定所述待检测工件的检测点的高度，所述第一预设距离大于所述第二预设距离，所述第二预设距离大于所述第三预设距离，所述第三预设距离大于所述第四预设距离。

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权利要求：

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