申请/专利权人：国立大学法人香川大学

申请日：2020-08-28

公开（公告）日：2024-04-02

公开（公告）号：CN114341602B

主分类号：G01J3/32

分类号：G01J3/32;G01J3/453

优先权：["20190903 JP 2019-160764"]

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.04.02#授权;2022.04.29#实质审查的生效;2022.04.12#公开

摘要：本发明通过物镜15将从物体面S的测定点发出的光整合为一个平行光束，通过移相器19将该平行光束分割为第一光束和第二光束，对该第一光束与该第二光束之间赋予光路长度差，并且使该第一光束和该第二光束朝向光检测器21的受光面射出。在与物镜15相关并与物体面光学共轭的面配置有遮光板13，只有通过了该遮光板13的透光部的光去向物镜15。基于物镜的焦距、从移相器19到光检测器21的受光面的距离、光检测器的像素间距、像素的长度以及从测定点发出的光的波长范围内包含的规定波长，来设定遮光板13的透光部的横向长度、相邻的两个透光部的间隔。

主权项：1.一种分光测定装置，其特征在于，具备：a整合光学系统，其将从物体面上的测定点发出的光整合为一个平行光束；b光检测器，其具有配置在受光面的多个像素；c移相器，其将所述平行光束在规定的第一轴方向上分割为两个光束来形成第一光束和第二光束，并对该第一光束与该第二光束之间赋予沿着与所述第一轴方向正交的第二轴方向连续地变化的光路长度差；d干涉部，其使被所述移相器赋予了光路长度差的所述第一光束和所述第二光束在所述受光面的具有沿着所述第二轴方向的长度的区域发生干涉来生成干涉光；e遮光构件，其被配置在所述物体面或与所述整合光学系统相关并与该物体面光学共轭的面，具有沿所述第二轴方向以隔开规定的间隔的方式排列的多个透光部；以及f处理部，其基于由所述光检测器检测到的所述干涉光的强度分布来求出所述测定点的干涉图，通过对该干涉图进行傅立叶变换来获取光谱，其中，所述遮光构件的所述透光部的在所述第二轴方向上的长度及在所述第二轴方向上相邻的两个透光部的间隔与从所述测定点发出的光的波长、从所述整合光学系统到所述移相器的距离、从所述移相器到所述光检测器的受光面的距离、所述像素的在所述第二轴方向上的间隔及对在所述第二轴方向上相邻的两个像素分别赋予的光路长度差之差之间具有规定的关系。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 国立大学法人香川大学 分光测定装置

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