申请/专利权人:通威太阳能(安徽)有限公司
申请日:2022-10-19
公开(公告)日:2024-04-02
公开(公告)号:CN115602758B
主分类号:H01L31/18
分类号:H01L31/18;H01L31/072;H01L31/0236;H01L21/02;B08B3/08
优先权:
专利状态码:有效-授权
法律状态:2024.04.02#授权;2023.02.07#实质审查的生效;2023.01.13#公开
摘要:本发明提供了一种硅片制绒后不良片的处理方法,包括如下步骤:将硅片制绒后不良片置于第一清洗液中进行第一清洗;将第一清洗后的硅片制绒后不良片置于第二清洗液中进行第二清洗;其中,第一清洗液为含有双氧水的碱溶液,第二清洗液为含有氢氟酸和臭氧的酸溶液。本发明的硅片制绒后不良片的处理方法可以在硅片厚度不发生较大减薄、不对绒面结构造成较大影响的情况下,获得良好的返工清洗效果,并且处理工艺比较简单。
主权项:1.一种硅片制绒后不良片的处理方法,其特征在于,包括如下步骤:将硅片制绒后不良片置于第一清洗液中进行第一清洗;及将第一清洗后的所述硅片制绒后不良片置于第二清洗液中进行第二清洗;其中,所述第一清洗液为含有双氧水的碱溶液,所述第二清洗液为含有氢氟酸和臭氧的酸溶液。
全文数据:
权利要求:
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