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【发明授权】一种用于分光棱镜镀膜的抛光控制方法及系统_中山市光大光学仪器有限公司_202311210229.3 

申请/专利权人:中山市光大光学仪器有限公司

申请日:2023-09-19

公开(公告)日:2024-04-02

公开(公告)号:CN117226608B

主分类号:B24B1/00

分类号:B24B1/00;B24B13/00;B24B49/00;B24B51/00;G01M11/02;G06T7/00;G06F17/16;G06F30/20;G06F111/04

优先权:

专利状态码:有效-授权

法律状态:2024.04.02#授权;2024.01.02#实质审查的生效;2023.12.15#公开

摘要:本发明公开了一种用于分光棱镜镀膜的抛光控制方法及系统,涉及数据处理技术领域,该方法包括:配置目标抛光控制方案;结合镀膜标准与镀膜影响因素,配置因素系数矩阵;通过拟真镀膜作业,获取预测制造棱镜,对其进行压克现象检测,确定压克检测结果,进行分光特性检测,生成特性检测三元组;以因素系数矩阵为限制,结合压克检测结果与特性检测三元组确定补偿寻优约束,进而确定优化抛光控制方案,进行目标分光棱镜的抛光控制。本发明解决了现有技术中人工操作分光棱镜镀膜抛光的效率低、质量差的技术问题,达到了通过设计专用治具进行分光棱镜镀膜抛光,提高抛光镀膜的质量和抛光作业效率的技术效果。

主权项:1.一种用于分光棱镜镀膜的抛光控制方法,其特征在于,所述方法包括:基于目标分光棱镜的制造需求,配置用于抛光设备的目标抛光控制方案;结合镀膜标准与镀膜影响因素,确定因素特征值并进行矩阵化,配置因素系数矩阵;结合构建的可视化拟真处理模型,对基于所述目标抛光控制方案作业获取的目标抛光棱镜进行拟真镀膜作业,获取预测制造棱镜,所述可视化拟真处理模型基于数字孪生技术于连接的可视化仿真平台进行搭建;对所述预测制造棱镜进行压克现象检测,确定压克检测结果,所述压克检测结果为包括压克现象-压克比例-压克位置-改性限度的检测序列;对所述预测制造棱镜进行分光特性检测,生成特性检测三元组,其中,特性检测维度包括透射特性、反射特性与偏振特性;以所述因素系数矩阵为限制,结合所述压克检测结果与所述特性检测三元组确定补偿寻优约束,对所述目标抛光控制方案进行补偿调整与寻优分析,确定优化抛光控制方案;基于所述优化抛光控制方案,进行所述目标分光棱镜的抛光控制。

全文数据:

权利要求:

百度查询: 中山市光大光学仪器有限公司 一种用于分光棱镜镀膜的抛光控制方法及系统

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