申请/专利权人：安捷伦科技有限公司

申请日：2019-04-30

公开（公告）日：2024-04-02

公开（公告）号：CN113728164B

主分类号：F04C27/02

分类号：F04C27/02;F04C18/02;F04C29/00

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.04.02#授权;2022.04.19#实质审查的生效;2021.11.30#公开

摘要：一种真空涡旋泵，包括：具有泵入口的入口部分和具有泵出口的排放部分；框架；固定涡旋板，其固定到框架并且包括固定板，固定板包括至少一个固定涡旋叶片；绕动涡旋板，其包括绕动板，绕动板包括从绕动板的前侧朝向固定板轴向突出的至少一个绕动涡旋叶片；驱动机构，其由框架支撑并且可操作地连接到绕动涡旋板，以使得绕动涡旋板围绕真空涡旋泵的纵向轴线绕动并且从而泵送过程气体；双面推力轴承，其支撑绕动涡旋板；和波纹管，其将过程气体与驱动机构隔离。

主权项：1.一种真空涡旋泵，包括：具有泵入口的入口部分和具有泵出口的排放部分；框架；固定涡旋板，其固定到所述框架并且包括固定板，所述固定板包括至少一个固定涡旋叶片，其中，所述至少一个固定涡旋叶片具有从所述固定板的中心部分出发的螺旋的形式；绕动涡旋板，其包括绕动板，所述绕动板包括从所述绕动板的前侧朝向所述固定板轴向突出的至少一个绕动涡旋叶片，其中，所述至少一个绕动涡旋叶片具有从所述绕动涡旋板的中心部分出发的螺旋的形式，并且其中，所述至少一个固定涡旋叶片和所述至少一个绕动涡旋叶片嵌套，使得凹穴由所述至少一个固定涡旋叶片和所述至少一个绕动涡旋叶片界定并且位于所述至少一个固定涡旋叶片和所述至少一个绕动涡旋叶片之间；驱动机构，其由所述框架支撑并且可操作地连接到所述绕动涡旋板，以使得所述绕动涡旋板围绕所述真空涡旋泵的纵向轴线绕动并且从而泵送过程气体；双面推力轴承，其支撑所述绕动涡旋板；和波纹管，其将所述过程气体与所述驱动机构隔离，其中所述双面推力轴承在一侧直接附接到所述绕动涡旋板，并且在另一侧附接到所述波纹管。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 安捷伦科技有限公司 涡旋泵中的双面油膜推力轴承

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