申请/专利权人：长春理工大学

申请日：2023-11-02

公开（公告）日：2024-04-02

公开（公告）号：CN117174768B

主分类号：H01L31/0232

分类号：H01L31/0232;H01L27/144;H01L31/18;G01J1/42

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.04.02#授权;2023.12.22#实质审查的生效;2023.12.05#公开

摘要：本发明涉及探测器技术领域，具体涉及一种探测器、探测器制作方法及波前校正方法，探测器包括SiO2层、微纳结构和Al2O3层和探测器本体探测器本体上设有多个单像元和相位调制电极，多个单像元组成面阵，多个单像元都与相位调制电极连接，SiO2层的一端与单像元的一端连接，SiO2层的另一端上设置有阵列排布的微纳结构，Al2O3层与阵列排布的微纳结构互补且与微纳结构和SiO2层连接，探测器本体上设置有与相位调制电极连接的电控接口。本发明采用微纳电场调控与光学优化相结合的方式，通过控制器电控微纳结构对透射光进行相位调整，是一种透射式、无机械运动的波前较正方法，结构简单，无机械振动，易于小型化，可自动调节探测器各像元的相位差，提高成像质量。

主权项：1.一种波前校正探测器，其特征在于，包括SiO2层（9）、微纳结构（10）和Al2O3层（11）和探测器本体（12）；所述探测器本体（12）上设有多个单像元（8）和相位调制电极（7），多个单像元（8）组成面阵，多个单像元（8）都与相位调制电极（7）连接，Al2O3层（11）的一端与单像元（8）的一端连接，Al2O3层（11）的另一端上设置有阵列排布的微纳结构（10），SiO2层（9）与阵列排布的微纳结构（10）互补且与微纳结构（10）和Al2O3层（11）连接，探测器本体（12）上设置有与相位调制电极（7）连接的电控接口；所述单像元（8）与Al2O3层（11）之间设置有感光介质膜。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 长春理工大学 一种探测器、探测器制作方法及波前校正方法

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