申请/专利权人：上海大尘微影半导体科技有限公司

申请日：2023-08-24

公开（公告）日：2024-04-02

公开（公告）号：CN220710237U

主分类号：H01J37/20

分类号：H01J37/20;H01J37/26

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.04.02#授权

摘要：本实用新型涉及调节装置技术领域，具体的是一种电子束电镜中的Rz方向微动调节装置，调节装置包括转动块一和转动块二，转动块一同轴心的转动设于转动块二上，转动块一上设有调节组件，调节组件包括螺纹杆和滑动轴，螺纹杆与滑动轴螺纹连接，转动块一上设有直槽一，转动块二上设有直槽二，直槽一位于直槽二的上方，且直槽二与直槽一交叉设置，滑动轴同时与直槽一、直槽二滑动连接。本实用新型调节装置，通过设计两个呈一定夹角的直槽，根据实际调节的精度来调节该夹角，旋转转动设置在转动块一上的螺纹杆，利用螺纹杆来驱动滑动轴在两个直槽内平移，调节转动块二移动，精密地进行Rz方向的角度调节，调节操作方便，Rz方向调节的精度高。

主权项：1.一种电子束电镜中的Rz方向微动调节装置，其特征在于，所述调节装置包括转动块一1和转动块二2，转动块一1同轴心的转动设于转动块二2上，转动块一1上设有调节组件；所述调节组件包括螺纹杆7和滑动轴8，螺纹杆7与滑动轴8螺纹连接，转动块一1上设有直槽一4，转动块二2上设有直槽二6，直槽一4位于直槽二6的上方，且直槽二6与直槽一4交叉设置，滑动轴8同时与直槽一4、直槽二6滑动连接。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 上海大尘微影半导体科技有限公司 一种电子束电镜中的Rz方向微动调节装置

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