申请/专利权人：北京华卓精科科技股份有限公司

申请日：2023-08-22

公开（公告）日：2024-04-02

公开（公告）号：CN220710833U

主分类号：H01S3/00

分类号：H01S3/00;H01S3/109

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.04.02#授权

摘要：本实用新型涉及平面光栅位置测量双频激光器，属于激光器技术领域，为解决现有双频激光器容易引入偏振混叠误差的技术问题而设计。平面光栅位置测量双频激光器，包括种子模块，种子模块用于产生线偏振单频种子光；种子模块还与放大模块连接；放大模块与倍频模块连接；倍频模块与第一分束模块连接，第一分束模块用于将线偏振单频种子光分为第一、二光束。上述的双频激光器在超精密测量系统中不容易引入偏振混叠误差。

主权项：1.一种平面光栅位置测量双频激光器，其特征在于，包括种子模块15，所述种子模块15用于产生线偏振单频种子光；所述种子模块15还与放大模块16连接，所述放大模块16用于将所述线偏振单频种子光放大；所述放大模块16与倍频模块17连接，所述倍频模块17用于将所述线偏振单频种子光的频率加倍；所述倍频模块17与第一分束模块连接，所述分束模块用于将所述线偏振单频种子光分为第一光束和第二光束。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 北京华卓精科科技股份有限公司 平面光栅位置测量双频激光器

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